泛铨高端Hitachi Regulus 8220 SEM开始上线服务
- 郑斐文／台北
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Hitachi Regulus 8220 SEM。
Hitachi Regulus 8220为新一代的冷场发SEM，具有最佳的空间分辨率与最小的能量发散，是分析先进制程IC失效／异常的利器。Hitachi Regulus 8220 SEM在不同CT的影像对比可以更清楚地呈现；且具有比之前型号较佳对比与空间分辨率的Regulus 8220可以轻易地解析失效／异常位置。配备BSE传感器的Regulus 8220可以轻易观察到下层失效／异常结构。
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