台积电EUV机台采购破50台 美光DRAM EUV评估可望提前
- 陈玉娟、韩青秀／台北
台积电加速先进制程推进，近期扩大释单，累计EUV机台至2021年底将超过50台；相较之下，三星电子(Samsung Electronics)2021年还不到25台，且EUV POD(光罩传送盒)采购量远低于预期，从2大设备、零组件采购已可窥见台积电、三星制程与...
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