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台积电EUV机台采购破50台 美光DRAM EUV评估可望提前

  • 陈玉娟韩青秀台北

台积电加速先进制程推进,近期扩大释单,累计EUV机台至2021年底将超过50台;相较之下,三星电子(Samsung Electronics)2021年还不到25台,且EUV POD(光罩传送盒)...

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