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上刊时间:2004/03/03~2026-05/02
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制造业亟需整合性的净零策略 半导体业净零重点为减少制程气体排放及扩大绿电使用
净零排放(Net Zero)为当前企业最关注的议题之一,目前制造业迈向净零普遍遇到的问题是虽然大型企业内部已有不同程度在讨论净零议题,但缺少系统性整体策略,因此,世界...
余佩儒
2023-02-24
显示科技与应用
显示科技与应用
美日大厂NF3供给增加迟缓 韓國厂商OCI Materials趁胜追击 积极增产能
三氟化氮
(NF3)是一种温室气体,但也是半导体及TFT LCD生产制程中重要的工业用气体,由于其具备清洁化学气相沉积(CVD)制程以及干蚀刻(Dry Etching)制程矽化物的特性,而成为目前半导体及面板产业关键的特殊气体。由于半导体芯片及面板...
黄铭章
2011-04-28
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