5纳米制程以下的最先进制程蓝图，由于晶圆代工业者在产品组合当中增加了半节点制程选项，包括6纳米和4纳米，转进到这些制程节点不仅成本非常高昂，相对效益也并非明确可期。
台积电两种版本5纳米制程均导入EUV技术 三星抢先3纳米制程开发定案
台积电与三星将FinFET延伸到5纳米 3纳米以下势将转进新架构
一颗7纳米SoC设计成本达数亿美元 晶圆代工业者纷退出最先进制程竞逐
