议题精选-EUV量产甜蜜点何时到?
美、日建EUV研发中心 韩国仅导入旧设备引产业忧虑
- 蔡云瑄/综合报导
为开发先进半导体技术,美国、日本政府均与民间合作,为研究机构导入极紫外光(EUV)微影设备。相较之下,韩国因预算限制仅能导入旧款设备,部分观点担忧,韩国可能在先进半导体技术竞争中落后。据韩媒ET News报导,美国国家半导体技术中...
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