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AI芯片提高制程要求 ifm以精密传感守住半导体设备稼动率

AI芯片需求持续推升先进制程与先进封装投资,晶圆制造对水质、温度、压力、流量及设备状态的控制也更为严格。传感器除了回传单一制程数值,还需提供诊断、异常纪录及设备运转信息,让工程人员可提早识别风险,维持制程稳定与设备稼动率。在SEMICON Taiwan
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