泛铨科技挟技术优势抢攻国内大陆商机

泛铨科技董事长柳纪纶(中)技术长陈荣钦博士(右)营运长廖永顺(左)指出，该公司在MA领域的技术，将是打造半导体基础工业的重要环节。(照片／泛铨科技提供)

产业环境变化快速，2018年启动的中美贸易战，造成全球制造业版图大搬移，2020年初开始的COVID-19疫情，让供应链再次断裂，泛铨科技董事长柳纪纶指出，这两大事件导致「逆全球化」成为新趋势，各国纷纷强化自身的供应链的完整性，「自给经济」趋势越来越明显，尤其受到中美贸易影响最深的国内大陆，近期更全力打造半导体基础工业，泛铨科技作为半导体材料分析大厂，在此领域早已具备强大的技术能量，未来在国内大陆市场发展乐观。

泛铨科技从2005年创业至今就专注于材料分析研发，掌握了半导体制程中，此领域最先进的技术，技术长陈荣钦博士指出，台积电掌握EUV(极紫外光微影)制程技术后，7nm+制程在去年底进入量产，未来5nm之后的制程中，EUV已成为必要制程设备及技术，不过他也表示，若以过去的材料分析技术，将难以因应此先进制程需求。

陈荣钦博士进一步指出，半导体材料分析结果要精准，前提是必须保持样品原貌，因此在每一代微缩研发过程中，避免人为因素损坏样品向来是重要工作。不过随着制程进入7nm乃至5nm、3nm时代，此一工作越来越艰钜。特别是在EUV光阻与low-k等关键材料，因材质特性脆弱，在使用电子显微镜观察时，易因电子束的冲击导致样品变形或微结构崩塌，让接下来的分析错误，甚至是无法进行。

对此泛铨科技独立研发出ALD真空镀膜技术，以真空技术为样品镀上适当厚度的薄膜，将样品制备及电子显微镜观察中的冲击降到最低，不让样品因此变形，以利于后续的分析。原理看似简单，不过要将技术达到可用性阶段难度相当高，陈荣钦博士指出，微米、纳米体积的半导体材料非常敏感，ALD真空镀膜过程中温度掌控尤为重要，泛铨科技可在不损伤样品的制程温度下进行原子层镀膜，由此可见其技术掌握度。

ALD真空镀膜技术外，分析专业更是泛铨科技得以在此领域领先业界的关键，在长年深耕下，该公司已养成一批业界顶尖人才，营运长廖永顺表示，专业人才是此一领域的最重要资产，因此2005年创立时，泛铨科技就以人性化管理与完善的升迁制度培养并留住人才，15年来，其人员流动率远低于业界。

完整且专业的人才库，让泛铨科技得以顺利扩展业务，近几年该公司大幅扩张企业版图，2018年成立南科分公司，2019年竹科与南京两家子公司也分别成立，在技术与人才的优势下，业绩节节高升，而且由于泛铨科技的扩张虽快，但其脚步都是循序渐进，不会一次投入过多人力，其闲置产能非常有限，因此在这波疫情冲击下，2020年上半的业绩仍比去年同期增加30%。至于未来发展，他则看好国内大陆市场的潜力。

廖永顺表示，在中美贸易战影响下，国内大陆半导体产业近期开始从根做起，全力建构基础工业，目前泛铨科技的国内大陆布局是采中央厨房方式，由南京子公司负责简单案件的材料分析，较难的案件再透过当地的物流体系将产品送到泛铨材料分析本部。

柳纪纶最后指出，材料分析是半导体制程中的必要环节，从样品制备到观察分析，都需要极高深的专业知识，泛铨科技在南京的子公司已为国内大陆市场紮下第一步发展基础，未来将从此点逐步扩大市场范围，提供完善的材料分析服务。