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海德汉ETEL高精密运动平台TELICA首度亮相

  • 陈其璐/台北

海德汉于SEMICON Taiwan 2019展示集团一系列的高精度产品,包含开放式光学尺与模块式角度编码器、NUMERIK JENA与RSF的开放式光学尺。SEMICON Taiwan现场展示第一次在亚洲亮相的ETEL高精密运动平台TELICA,一睹TELICA最先进的半导体设备核心的运动控制平台,为您呈现高产能与高生产效率完美并存的解决方案。

新一代开放式光学尺LIDA400系列,包含新一代光学讯号处理单元(HSP)的光学尺;除相对较大的容许误差便于现场组装的施作,当光学尺在实际运行遇到因污染而讯号衰弱或异常时,新的ASIC芯片,可发挥其功能,透过光源的控制,使得光学尺读头仍能提供稳定的讯号输出。

Vulcano XY精密运动平台结合ZT3H旋转倾斜与主动式制振平台QuiET,大幅增强高速高精度运动性能。

RSF的绝对式角度编码器MCR15

不带内置轴承的绝对式角度编码器MCR 15在电子控制驱动领域及测量领域用于位置和角度控制。独特光学设计与安装容许误差较大的特色,降低了对污染的敏感度。读头讯号输出,让使用者能感受到机台运动状态的稳定性。

NUMERIK JENA的LIKgo 新增量式直线光学尺

LIKgo是NUMERIK JENA推出的全新、特别设计的开放式直线光学尺,其外型轻薄短小,适用于半导体检测与生产设备、量测仪器与量测显微镜等。

ETEL的TELICA精密运动平台

TELICA是ETEL新一代先进封装设备的高速双龙门平台,XYZ 共8轴的运动平台。应用于Die bonding黏晶制程(Flip-chip, Fan-out, 3D stacked package and µ-LED bonding)。此运动控制平台可同时满足高产能与高精度,具备X轴加速度可达4G,Y轴6G,Z轴7.5G,±1µm放置精度(global placement accuracy)与覆晶封装应用,生产率达10kUPH,提供更高效能。

ETEL推出Vulcano XY精密运动平台结合ZT3H旋转倾斜和Z轴模块适合用于晶圆的前制程段。机械轴承的设计在XY水平与垂直方向提供极高刚性,允许高加减速度(可达2.5g),最高速度(可达1.5m/s),双向重复精度(X轴与Y轴 ±350nm),具备纳米等级的定位稳定性。Vulcano内建高速高精度控制器AccurET VHP与主动式制振平台QuiET,大幅增强高速高精度运动性能,适合应用于纳米等级的量测机台。