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设备本土化的关键 – 超精密运动平台与控制系统

Aerotech于台北国际半导体展展出最新超精密运动平台与控制系统。

在半导体产业中,在多年来产官学研的努力下,许多厂商持续不断将许多制造设备进行本土化(Localization),提升台湾半导体产业的价格竞争力,以及设计灵活度等,但对于高精度制程设备,许多台湾厂商们仍苦于难以达到半导体制程的精密度与产能需求,不论是前段制程,与后段的先进封装等等,在台湾半导体设备本土化中,有一关键技术对于未来提升设备的精度效能,相信能够扮演重要角色,也就是「超精密运动平台与控制系统」的技术。

美商艾罗德克有限公司(Aerotech),多年来专心致力于运动控制系统开发与制造,客群遍布半导体,平面显示器,光通讯,雷射产业,以及各种研发单位,针对微米,次微米,至纳米等级定位系统进行开发与量产工作。除了移动平台的机构精度,几何公差,动态精度规格外,专心致力于将精密量测技术与运动平台制造技术结合,以确保产品的精密度可符合半导体检测制程,先进封装制程,以及各种雷射制程需求。

近年来更在次系统(Sub-system)的开发上,集成气浮轴承移动平台,花岗岩结构,以及主/被动式气浮防震系统等等,有大量的实绩,实际上协助海内外终端客户专心于制程开发,而运动机构与控制系统得以取得完整解决方案。

本次台北国际半导体展,Aerotech摊位号码为四楼N0380,展出气浮轴承运动平台,光通讯Automation1控制系统,六自由度史都华平台,超精密压电纳米移动平台,以及广泛应用于半导体产业的PlanarDL XY平台,艾罗德克公司表示,台湾设备业者的本土化瓶颈,在多年的努力后,仍时常遇到机台设备不容易达到精度需求的议题,但这即是可以借助超精密运动系统可以协助克服的关键之一,若有设备精密度与高精度运动平台的应用问题,也欢迎至半导体展会场与艾罗德克公司讨论,并参观最先进的运动技术发展。


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