Aerotech于2019半导体展展出高精度运动控制平台与系统

Aerotech于2019半导体展展出高精度运动控制平台与系统

由于半导体产业对于制程极限的推展，从前段制程至后段封测，设备商无不专心致力于提升半导体制程设备之效能与产能。本次半导体展中，Aerotech展出四大主轴：第一为光通讯运动控制技术，第二为气浮轴承移动平台与自动对焦演算法，第三为超精密XY平台搭配3D量测模块，最后为压电纳米移动平台。四大主轴的核心，在于Aerotech针对制程设备开发的精度推展，以及产能需求。

Aerotech为半导体制程用运动系统供应商，其运动控制与定位平台系统可被用于各道制程应用上，包含晶圆检测，瑕疵检测与侦测，白光干涉，先进封装，与各式各样先进制程应用上。

于最严苛的半导体制程如微影制程中，通常晶圆平台具有最极端的规格需求。Aerotech的ABL1500气浮轴承定位平台在半导体制程中被广泛使用，尤其需要极高平面度与极高动态精度的需求时，其特性会有助于制程良率改善。本次半导体展中，Aerotech更将此平台与高精度雷射位移计整合，进行自动对焦演算法的展示。

在许多精密量测与白光干涉，与其他3D量测的应用中，精密的XY平台并且具备2D定位精度的需求相当广泛，Aerotech的Planar_DL系列是在这些量测应用中常被使用到的精密XY平台，具有精密几何效能和微米级直线度的开孔式平台。Planar_DL平台包括高精度交叉滚柱轴承、精密加工表面，和通过刚性中心轴线驱动的非接触式线性马达。这些特点使其直线度达到±0.4µm，平面度达到±1µm，适用于各种精密量测制程。

制程微缩化是半导体产业永不停歇的目标，摩尔定律推展的特徵尺寸如今已经低于5nm节点，设备商对于如何制作出微缩化的电路，如何检测这些电路与特徵，并且如何封装这些晶圆，其面临的挑战远高于往年。压电平台在制程微缩化中扮演重要角色，其微动，高精度等特性，可以协助制程设备能够检测出较于以往更微小的特徵尺寸。

Aerotech全新系列的QNP-XY压电纳米定位平台，能提供最高的共振频率和刚性；高达分辨率0.15nm、线性度0.007%、及高重复性2 nm，可符合最严峻的应用要求，从显微镜术到光学校准；其行程范围为从100µm到600µm。搭配Aerotech的Q系列控制器与驱动器使用时，该系列平台表现出次纳米定位分辨率和定位稳定性，甚至可以同步控制伺符与压电平台，达到提升制程良率的目标。

Aerotech于本届台北国际半导体展中，将展出各式先进运动控制平台系统，提供台湾半导体业者与设备业者最新的技术信息，届时将有应用工程师现场说明这些设备之特性，并可商讨个别专案细节。Aerotech于半导体展之摊位号码为：N0580。