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志尚提供半导体PM2.5纳米暨微污染分析及工安环保设备

  • 李佳玲/台北

突破20nm极限,志尚2019半导体展将展示Kanomax超纯水(UPW)及Slurry中纳米粒径分布计数器系列产品。

2019国际半导体展会,志尚仪器将于现场特别展示相关半导体方面分析仪器设备,除了以往展出符合Semi IRDS 2017 Guide Roadmap中符合AMC Method的在线酸碱排放暨AMC分析系统(PWPD-IC)以及最新的离子电泳分析仪(IMS)与最新的光腔衰荡光谱(CRDS)分析仪外,2019年更将展出新代理日本Kanomax FMT公司所生产符合SEMI C79-0113及C93-0217 Guide可量测10/15/20nm的纳米微粒计数器(sTPC)以及5-600nm纳米粒径分布(LNS)。

除了可作为超纯水(UPW)的在线监控设备,另外也特别针对CMP(研磨机)所使用的Slurry粒径分布量测提供完全新设计的LNS系列;对于极低浓度或是真空腔中的微量气体,志尚提供RGA在线质谱系统以及在线型ppb级总有机性气体(TVOC)等解决方案;此外也会展出高科技厂房常用的工安环保及IAQ等相关设备。

志尚仪器2019半导体展提供AMC&排放管道气体分析与PM2.5及Slurry颗粒分布等相关设备。

打破20nm极限  可量测10nm以下液态微粒子

志尚仪器所代理的日本Kanomax公司2018年推出世界唯一突破20纳米极限使用于高科技厂房中超纯水使用的超微细粒子计数器(sTPC),专利的雾化器(Nebulizer)系统可将UPW超微细颗粒有效并结合Fast CPC的技术一举突破光学粒子计数器20nm的极限,可以监控超纯水中10/15/20 nm颗粒的变化。

另外新推出的LNS系统更是除了UPW外更针对CMP制程中的Slurry颗粒分布进行在线监控,量测粒径范围可以由5nm?600nm,分析时间也可大幅缩短。

SEMI IRDS 2017 Roadmap  微污染分析志尚提供完整分析设备

在SEMI IRDS 2017 Roadmap中所建议半导体厂中侦测AMC的分析方法为PPWD-IC、IMS、PAS、CRDS、PID、APIMS等, 因此志尚仪器除了之前与国立交通大学蔡春进教授的所进行技术合作,并成功将蔡教授的Denuder技术进行商业化改良,并与ISO 17025实验室结合,已经成功开发出新一代的AMC分析仪(PPWD-IC),该品项也荣获国家玉山奖的肯定。

近来更合作开发相关 PM2.5及气胶微粒采样设备,回收率可达95%以上,与之前的Denuder合体可以同时且有效的针对酸碱排放管道气体及PM2.5微粒样品进行成分分析。

另外,也扩大与国外的技术交流,成功的开发出第三代的离子电泳分析仪(IMS),其设计除了舍弃传统的化学Dopant外,也采用较低放射性的氚作为游离源,不仅可以侦测酸碱两种气体,而且可以同时量测多种酸性气体(HCl/Cl2/HF/H2S/SO2)。

此外可加温的侦测器设计可以避免样品浓度过高造成污染,另外因为不使用Chemical Dopant,因此也不会有如一些厂家在使用时因Dopant气体与空气中其它气体反应形成结晶造成侦测器的污染;此外最近也与国外技术合作发展光腔衰荡光谱技术(CRDS)可以同时量测高科技厂房内的Ammonia与HF及HCl等重要气体。

志尚提供最新高科技厂房排放管道在线酸碱气体暨PM 2.5质量及成份分析技术

在高科技厂房排放管道中有关酸碱排(五酸一碱)放气体的在线侦测一直是个不容易解决的问题,志尚仪器在交大环工所蔡春进教授的指导下, 成功将原本使用在AMC领域的PPWD(湿式平行板气液吸收器)用于排放管道中五酸一碱的侦测,也可经由SDEP/PILS进行微粒中化学成份的分析。

此外更与蔡教授合作发展新型的排放管道PM2.5光学式在线连续监控系统, 针对高科技厂房中因为酸碱气体与高湿度造成光学系统的不准度设计特殊的前处理设备,更使用Beta-Gauge做双重验证确认数值准确度。

志尚仪器自1990年成立至今,已从一个单纯气体分析仪器代理商的角色,提升为气体分析仪器制造商及系统统合商(Turn-Key Solution),现今又正式成立研发制造部门,正式踏足研发制造领域,成为具备由仪器咨询→研发制造→仪器销售→系统集成→分析校正服→仪器租赁,提供客户完整治标暨治本的解决方案。

成立至今为了不断的追求质量目标以提供客户最佳的售后服务,不仅通过ISO9001:2015认证,之后又先后成立ISO 17025认证暨TAF第1936号气体流率(Flow Rate)与气体侦测器(Gases Monitor)校正实验室,以提供客户最优质的气体流量计或校正器之校正,与可燃性/毒性气体侦测之校正服务,以及全台第一家微污染气体分析实验室(AMC Lab.)可提供客户有关洁净室内酸碱气体及有机气体的采样分析,质量可达ISO 17025等级。

目前志尚仪器也希望朝著本土化生产高阶气体分析仪器之目标不断的提升自我能力,除了产品已取得CE相关认证部分,零组件也申请台、中、美的专利,现今不但多项设备获相关半导体业界或传统石化业界暨研究单位陆续采用中,另外也已经成功外销相关高阶气体分析仪器至欧美等国。

如需进一步志尚产品讯息,请上官网查询,或来电指教 0800-000501,欢迎业界先进莅临会场参观指教,展示摊位号码:南港展览馆4楼L0306。