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半导体专用纳米级精密直线传动模块生产无尘室正式启动

  • 魏于宁台北

半导体专用纳米级精密直线传动模块生产无尘室正式启动。

东佑达自2000年进入自动化业界2020年已迈入第21年,近年来积极开发半导体制程需求核心技术之相对应产品。目前已将电动缸产品之生产组装制程搬进无尘室进行组装。目前是亚太唯一,将线性传动模块搬进无尘室生产的传动元件厂商。

台湾的半导体产业在国际上具有重要地位,但半导体仪器设备却多仰赖国外进口,制程技术受国外设备商所箝制,机台价格昂贵且维修不易。东佑达为支持半导体设备业的在地自主化发展,特开发一系列针对无尘室专用的产品系列,包含小型电动缸、电动夹爪以及线性马达模块等,可满足Class 1-1000不等的无尘环境需求,且皆已取得SGS认证。

其中,线性马达模块系列除了无尘的需求外,更可达到μ级精度,除了模块化贩售可节省设计工时、采购工时、入料品检工时、组装工时等优点,模块商品化让可靠度更佳,更是目前世界模块化同级产品体积最小的产品。全台制可缩短交期,让设备业者可以快速导入。目前已有大量应用在半导体制程之实绩。

东佑达集团董事长林宗德表示:为了符合半导体业界制程需求,东佑达率先将无尘系列产品搬进无尘室生产,让客户使用上更安心,为无尘环境需求的设备伙伴及终端客户,提供更优质的无尘自动化元件产品选择,协助台湾半导体设备供应链在地化发展。手机、面板等高科技IT产业无尘室也是服务的范围对象。

东佑达无尘系列以及空气轴承对位平台等产品已于「SEMICON Taiwan 2020台湾国际半导体展」展出,盼厚植本土直线传动模块技术以迎接半导体设备自主化时代的来临。