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Infineon

泛铨科技挟技术优势抢攻中国大陆商机

  • 吴冠仪/台北

泛铨科技董事长柳纪纶(中)技术长陈荣钦博士(右)营运长廖永顺(左)指出,该公司在MA领域的技术,将是打造半导体基础工业的重要环节。(照片/泛铨科技提供)

产业环境变化快速,2018年启动的中美贸易战,造成全球制造业版图大搬移,2020年初开始的COVID-19疫情,让供应链再次断裂,泛铨科技董事长柳纪纶指出,这两大事件导致「逆全球化」成为新趋势,各国纷纷强化自身的供应链的完整性,「自给经济」趋势越来越明显,尤其受到中美贸易影响最深的中国大陆,近期更全力打造半导体基础工业,泛铨科技作为半导体材料分析大厂,在此领域早已具备强大的技术能量,未来在中国大陆市场发展乐观。

泛铨科技从2005年创业至今就专注于材料分析研发,掌握了半导体制程中,此领域最先进的技术,技术长陈荣钦博士指出,台积电掌握EUV(极紫外光微影)制程技术后,7nm+制程在去年底进入量产,未来5nm之后的制程中,EUV已成为必要制程设备及技术,不过他也表示,若以过去的材料分析技术,将难以因应此先进制程需求。

陈荣钦博士进一步指出,半导体材料分析结果要精准,前提是必须保持样品原貌,因此在每一代微缩研发过程中,避免人为因素损坏样品向来是重要工作。不过随著制程进入7nm乃至5nm、3nm时代,此一工作越来越艰钜。特别是在EUV光阻与low-k等关键材料,因材质特性脆弱,在使用电子显微镜观察时,易因电子束的冲击导致样品变形或微结构崩塌,让接下来的分析错误,甚至是无法进行。

对此泛铨科技独立研发出ALD真空镀膜技术,以真空技术为样品镀上适当厚度的薄膜,将样品制备及电子显微镜观察中的冲击降到最低,不让样品因此变形,以利于后续的分析。原理看似简单,不过要将技术达到可用性阶段难度相当高,陈荣钦博士指出,微米、纳米体积的半导体材料非常敏感,ALD真空镀膜过程中温度掌控尤为重要,泛铨科技可在不损伤样品的制程温度下进行原子层镀膜,由此可见其技术掌握度。

ALD真空镀膜技术外,分析专业更是泛铨科技得以在此领域领先业界的关键,在长年深耕下,该公司已养成一批业界顶尖人才,营运长廖永顺表示,专业人才是此一领域的最重要资产,因此2005年创立时,泛铨科技就以人性化管理与完善的升迁制度培养并留住人才,15年来,其人员流动率远低于业界。

完整且专业的人才库,让泛铨科技得以顺利扩展业务,近几年该公司大幅扩张企业版图,2018年成立南科分公司,2019年竹科与南京两家子公司也分别成立,在技术与人才的优势下,业绩节节高升,而且由于泛铨科技的扩张虽快,但其脚步都是循序渐进,不会一次投入过多人力,其闲置产能非常有限,因此在这波疫情冲击下,2020年上半的业绩仍比去年同期增加30%。至于未来发展,他则看好中国大陆市场的潜力。

廖永顺表示,在中美贸易战影响下,中国大陆半导体产业近期开始从根做起,全力建构基础工业,目前泛铨科技的中国大陆布局是采中央厨房方式,由南京子公司负责简单案件的材料分析,较难的案件再透过当地的物流体系将产品送到泛铨材料分析本部。

柳纪纶最后指出,材料分析是半导体制程中的必要环节,从样品制备到观察分析,都需要极高深的专业知识,泛铨科技在南京的子公司已为中国大陆市场扎下第一步发展基础,未来将从此点逐步扩大市场范围,提供完善的材料分析服务。