先进制程分析技术已备妥　闳康扮演半导体客户坚强后盾

闳康科技董事长谢咏芬表示，闳康长年培养专业人才，可提供完善的半导体先进制程分析服务，对全球产业的研发速度具有绝对的助益。DIGITIMES摄

半导体是台湾经济命脉，根据工研院IEK Consulting的报告，2018年台湾半导体产业产值达新台币2.62万亿元，全球市占率将近20%，2019年虽受中美贸易影响导致景气趋缓，不过在先进制程技术陆续突破以及5G、AI和车用电子市场的带动下，业界都乐观看待台湾半导体今年的成长。

闳康科技董事长谢咏芬表示，台湾半导体产业的技术能力仍居于全球领先地位，为强化此一优势，包括闳康科技在内的台湾半导体供应商都已备妥相关技术，全力支持半导体客户在先进制程与新应用的发展。

这几年半导体制程从5纳米进化到3纳米，对半导体分析来说，制程进化对分析技术带来的最大挑战在于试片制备。

目前半导体制程中，28纳米到3纳米所使用的电子显微镜的影像解析与成份分析技术并无不同，而新制程所需要制备的试片厚度更薄，极薄的试片将面临几个问题，首先是变形的机率变大，其次是分析时所用的离子束容易对试片造成辐射损伤，最后是小尺寸试片的影像解读不易。

要能够精准解读，不但需要在学理方面有深厚基础，还必须靠过去累积的实作经验，判断与解释影像分析时出现的假像(artifacts)，让分析报告更加精准。针对这些挑战，闳康利用影像处理软件与自动量测技术，量测、统计并分析设备产生的原始数据，找出解决方案。

对于半导体先进制程的分析测试服务，谢咏芬指出先进制程会遇到的问题难以预估，因此客户在研发阶段，闳康人员会与客户同步解决相关问题，像是试片前段的乾、湿蚀刻或原子层蒸镀(ALD)等化学处理。

由于前段试片的品质会影响最后影像的分析结果，因此在分析程序中，试片的前段处理至关重要，这部分要与客户一起研发、一起成长，才能获得客户信赖，进而取得订单。

闳康在半导体分析测试服务提供了完整而且先进的服务链，当初成立时，其服务除了有芯片前端开发时的电路修补(Circuit Repair)、静电放电测试(ESD)、可靠度测试(Reliability Analysis)之外，也加入材料分析(Material Analysis)以及故障分析(Failure Analysis)，如此完善的检测服务是当时业界首创。

现在闳康已是汇整CA、SA、MA、FA、RA等5大领域的分析测试公司，透过不同的分析，服务不同领域的客户，至于未来市场，谢咏芬则看好5G、AI与物联网市场。

这几类市场近年陆续启动，物联网已发展了将近10年，最近开始有成功案例问世；AI自2016年启动，目前也在多种场域中实验应用；至于5G则是从今年开始有国家商转，这三大技术市场应用都被认为将改变人类未来的生活型态，而因应新市场所需要的IC，乃至于分析测试项目也都不尽相同。

谢咏芬指出，5G讲求高速传输，物联网着重传感与无线通讯，至于AI则需要高效能运算能力，这些特色都对IC设计带来有别于以往的考验，而闳康投入CA、SA、MA、FA、RA等不同分析技术，也是为了提供客户完整的服务平台。

除了上述三大市场公认的革命性技术外，谢咏芬十分看好车用电子的发展潜力，这也是闳康近年来大力投入的领域。目前市场上的车用电子以电动车与自动驾驶为两大成长区块。

电动车的核心在于动力系统，由于是由电能驱动，其所使用的IC和电路板都必须经过严密的分析测试。自动驾驶的IC分析则是以传感器为主，具备自动驾驶功能的车辆，必须先在车身上建置庞大数量的传感器，然后将撷取的环境数据传回后端进行实时分析，再将运算结果传送至控制系统，做出对应动作，在此一系列过程中，负责侦测环境的传感器是整体运作流程的第一步，因此品质相对重要。

闳康在车用电子除了有完善的分析技术外，2019年第3季也在日本汽车重镇名古屋设置实验室，就近服务在地客户。

随着半导体技术持续突破与新兴应用市场的开发，分析服务在半导体领域所扮演的角色越来越吃重，此一产业属于知识密集型产业，对于从业人员的专业要求非常高，因此自成立以来，闳康不但投入钜资添购贵重仪器，更不断积极培育人才，谢咏芬指出，专业人才与技术研发仍会是闳康未来经营重点，以提供客户最专业的服务。