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先进制程分析技术已备妥 闳康扮演半导体客户坚强后盾

  • 吴冠仪/台北

闳康科技董事长谢咏芬表示,闳康长年培养专业人才,可提供完善的半导体先进制程分析服务,对全球产业的研发速度具有绝对的助益。DIGITIMES

半导体是台湾经济命脉,根据工研院IEK Consulting的报告,2018年台湾半导体产业产值达新台币2.62兆元,全球市占率将近20%,2019年虽受中美贸易影响导致景气趋缓,不过在先进制程技术陆续突破以及5G、AI和车用电子市场的带动下,业界都乐观看待台湾半导体今年的成长。

闳康科技董事长谢咏芬表示,台湾半导体产业的技术能力仍居于全球领先地位,为强化此一优势,包括闳康科技在内的台湾半导体供应商都已备妥相关技术,全力支持半导体客户在先进制程与新应用的发展。

这几年半导体制程从5纳米进化到3纳米,对半导体分析来说,制程进化对分析技术带来的最大挑战在于试片制备。

目前半导体制程中,28纳米到3纳米所使用的电子显微镜的影像解析与成份分析技术并无不同,而新制程所需要制备的试片厚度更薄,极薄的试片将面临几个问题,首先是变形的机率变大,其次是分析时所用的离子束容易对试片造成辐射损伤,最后是小尺寸试片的影像解读不易。

要能够精准解读,不但需要在学理方面有深厚基础,还必须靠过去累积的实作经验,判断与解释影像分析时出现的假象(artifacts),让分析报告更加精准。针对这些挑战,闳康利用影像处理软件与自动量测技术,量测、统计并分析设备产生的原始数据,找出解决方案。

对于半导体先进制程的分析测试服务,谢咏芬指出先进制程会遇到的问题难以预估,因此客户在研发阶段,闳康人员会与客户同步解决相关问题,象是试片前段的乾、湿蚀刻或原子层蒸镀(ALD)等化学处理。

由于前段试片的质量会影响最后影像的分析结果,因此在分析程序中,试片的前段处理至关重要,这部分要与客户一起研发、一起成长,才能获得客户信赖,进而取得订单。

闳康在半导体分析测试服务提供了完整而且先进的服务链,当初成立时,其服务除了有芯片前端开发时的电路修补(Circuit Repair)、静电放电测试(ESD)、可靠度测试(Reliability Analysis)之外,也加入材料分析(Material Analysis)以及故障分析(Failure Analysis),如此完善的检测服务是当时业界首创。

现在闳康已是汇整CA、SA、MA、FA、RA等5大领域的分析测试公司,透过不同的分析,服务不同领域的客户,至于未来市场,谢咏芬则看好5G、AI与物联网市场。

这几类市场近年陆续启动,物联网已发展了将近10年,最近开始有成功案例问世;AI自2016年启动,目前也在多种场域中实验应用;至于5G则是从今年开始有国家商转,这三大技术市场应用都被认为将改变人类未来的生活型态,而因应新市场所需要的IC,乃至于分析测试项目也都不尽相同。

谢咏芬指出,5G讲求高速传输,物联网着重感测与无线通讯,至于AI则需要高效能运算能力,这些特色都对IC设计带来有别于以往的考验,而闳康投入CA、SA、MA、FA、RA等不同分析技术,也是为了提供客户完整的服务平台。

除了上述三大市场公认的革命性技术外,谢咏芬十分看好车用电子的发展潜力,这也是闳康近年来大力投入的领域。目前市场上的车用电子以电动车与自动驾驶为两大成长区块。

电动车的核心在于动力系统,由于是由电能驱动,其所使用的IC和电路板都必须经过严密的分析测试。自动驾驶的IC分析则是以传感器为主,具备自动驾驶功能的车辆,必须先在车身上建置庞大数量的传感器,然后将撷取的环境数据传回后端进行实时分析,再将运算结果传送至控制系统,做出对应动作,在此一系列过程中,负责侦测环境的传感器是整体运行流程的第一步,因此质量相对重要。

闳康在车用电子除了有完善的分析技术外,2019年第3季也在日本汽车重镇名古屋设置实验室,就近服务在地客户。

随著半导体技术持续突破与新兴应用市场的开发,分析服务在半导体领域所扮演的角色越来越吃重,此一产业属于知识密集型产业,对于从业人员的专业要求非常高,因此自成立以来,闳康不但投入巨资添购贵重仪器,更不断积极培育人才,谢咏芬指出,专业人才与技术研发仍会是闳康未来经营重点,以提供客户最专业的服务。