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亚太加速器

AMC暨环境与烟道气体及PM 2.5成分创新分析技术

  • 李佳玲

日前2019国际半导体展会,志尚仪器受邀出席Semi主办单位举办的创新技术发表会,发表「AMC 暨环境与烟道气体及PM 2.5 成分创新分析技术探讨」志尚仪器总经理杨玉山表示,在高科技厂房排放管道中有关酸碱排(五酸一碱)放气体的在线侦测一直是个不容易解决的问题,志尚仪器在交大环工所蔡春进教授的指导下, 成功将原本使用在AMC领域的PPWD(湿式平行板气液吸收器)用于排放管道中五酸一碱的侦测,也可经由SDEP/PILS进行微粒中化学成份的分析。

此外更与蔡教授合作发展新型的排放管道PM2.5光学式在线连续监控系统, 针对高科技厂房中因为酸碱气体与高湿度造成光学系统的不准度设计特殊的前处理设备,更使用Beta-Gauge做双重验证确认数值准确度。

志尚仪器总经理杨玉山。

杨玉山指出,「在SEMI IRDS 2017 Roadmap中所建议半导体厂中侦测AMC的分析方法为PPWD-IC、IMS、PAS、CRDS、PID、APIMS等, 因此志尚仪器除了之前与国立交通大学蔡春进教授的所进行技术合作,并成功将蔡教授的Denuder技术进行商业化改良,并与ISO 17025实验室结合,已经成功开发出新一代的AMC分析仪(PPWD-IC),该品项也荣获国家玉山奖的肯定。」

近来志尚仪器更合作开发相关 PM2.5及气胶微粒采样设备,回收率可达95%以上,与之前的Denuder合体可以同时且有效的针对酸碱排放管道气体及PM2.5微粒样品进行成分分析。

另外,也扩大与国外的技术交流,杨玉山说,志尚成功的开发出第三代的离子电泳分析仪(IMS),其设计除了舍弃传统的化学Dopant外,也采用较低放射性的氚作为游离源,不仅可以侦测酸碱两种气体,而且可以同时量测多种酸性气体(HCl/Cl2/HF/H2S/SO2)。

此外最近也与国外技术合作发展光腔衰荡光谱技术(CRDS)可以同时量测高科技厂房内的Ammonia与HF及HCl等重要气体。志尚仪器自1990年成立至今,已从一个单纯气体分析仪器代理商的角色,提升为气体分析仪器制造商及系统统合商(Turn-Key Solution),现今又正式成立研发制造部门,正式踏足研发制造领域,如需进一步了解志尚仪器产品讯息,请上官网查询。