日JSR收购美Inpria 光阻剂实力再强化
- 蔡静珊／综合报导
日本光阻剂大厂JSR宣布以5.14亿美元购并美国同业Inpria。Inpria光阻剂分子大小仅现行标准的20%，自始即为半导体先进制程所采用的极紫外光(EUV)技术而生。这桩购并案一方面可能影响半导体制程节点微缩技术的未来发展，一方面也将进一步强化日本厂商对关键材料...
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