SEMICON展出亚泰半导体厂务ESG新选择

亚泰半导体管理团队于国际半导体展合影。亚泰半导体

SEMICON Taiwan 2021国际半导体展，于2021年12月底于南港展览馆登场，展期聚焦亮点包括化合物半导体、异质整合、绿色制造及智能制造；其中2021年更增设智能能源管理专区与绿色制造创新形象馆，强化半导体产业在ESG (环境、社会、公司治理)的重点展现，使高科技供应链朝向永续发展。亚泰半导体设备身为半导体高科技厂房设施的一份子，亦投入研发技术于化学品自动化管理作业，提供半导体厂更加符合ESG期待的厂务设施。

亚泰的研磨液供应系统iTrident，为业界独有三桶式，三个化学桶同时可提供混料、供应及暂存作用，因此在空间效用及零组件使用效率上更佳，此系列亦获得2022台湾精品奖肯定。另一精品奖产品为2021台湾精品奖认可的摇桶机TB-200，亦为亚泰新事业群「智动化」系列中化学品物料管理系列的先驱产品。无论是化学品供应系统或智动化物料管理系统，皆在厂务作业中进行环境保护的考量，除此之外，避免人员涉入化学品可能溢散的危险作业，采用高度自动化并透过数据蒐集与分析优化作业，更是充分展现对「人的关怀」与「智能连结」，让使用者对具备ESG概念的厂务规划更有感。

25年来，「体贴客户的需求」一直是亚泰执行定制化产品服务的精神，包括主力商品供应系统系列，以全机自动化操作包含入料模块、混料、供应及控制单元，针对半导体化学机械平坦化中所使用的研磨液，进行混料均匀搅拌并传输至制程端使用的「化学研磨液混料供应系统(Slurry & Chemical Delivery System)」，该系统在执行多点输送作业时，需要借重电控及监测仪器的结合，达到考量品质作业及控管的成效，站在使用者的角度考量操作及使用界面的呈现，达到降低人力负担并提高生产效率的成果。

近年来更推出「智动入料」，协助厂务人员在化学桶入料管理的一臂之力。智动化学桶加载物料管理模块的作业包括，进行桶盖对位、以万用开盖器将任何样式的化学桶盖开启、桶盖移置、抽液管与化学桶的衔接、完成自动抽液以至于后续复归桶盖及化学桶移除作业。有可能使人员暴露在化学液操作时的风险一一采智能化的自动作业取代，全新系列的产品发表在本次SEMICON展会中精采亮相。