Infinitesima创新量测设备先驱者 协助半导体制程控制的挑战

Metron3D专为高吞吐量半导体制造业设计的in-line量测设备，Metron3D结合原子力显微镜的成熟优势与几项全新的发明，可以将量测速度提高至少100倍，并将探针头寿命提高了10倍。Infinitesima

2021年12月6号，位于英国的阿宾顿Infinitesima Corporation正式发布Metron3D。

Metron3D这是一款专为高吞吐量半导体制造业而设计的in-line量测设备。Metron3D将原子力显微镜的成熟优势与几项全新的发明相结合，这些发明将量测速度提高了至少100倍，并将探针头寿命提高了10倍。Metron3D具备高速度运行，同时保持非常高的精度，这将使芯片制造商首次能够在产线端In-line使用高精确度量测及检测应用。

Metron3D的测量模块Rapid Probe Metrology(RPM)，被整合到由知名供应商打造的现有解决方案，以确保设备在产线端的可靠性。Metron3D系统提供的关键量测及检测功能，能够最大化提高产能并且降低晶圆成本，借此推进半导体制程的控制。随着半导体尺寸缩小和芯片架构变得复杂，Metron3D在CMP(局部和长距离)、EUV光膜和逻辑元件前端制程分析等领域提供了测量优势。

Metron3D系统中拥有探针库，里头包含数十个探针及探针专用加载装置，在外加预测探针寿命的复杂软件，让Metron3D即使在如CMP这类需大面积测量的任务也能保证连续运行。另外，在图像识别中，Metron3D将全局对准系统与高度精确的晶圆台相互结合，确保能对目标结构进行可靠及重复性的测量。

Infinitesima CEO Peter Jenkins表示，「摩尔定律」正在历经一个转折过渡到3D制程整合，而Infinitesima寻求通过这种高度创新的产品彻底改变过去的探针量测系统，来实现具有埃级分辨率和精度的In-line 3D制程控制。

另外Peter Jenkins补充道，Metron3D是创新量测设备道路上的先驱者，将有助于解决即将到来的制程控制挑战，例如高NA EUV、新材料和3D芯片架构。更多关于Metron3D的信息请至网站。