高精、高速、高洁净度与防静电的工业机器人

(左)Staubli 6轴防静电版本、(右)Staubli 4轴防静电版本。史陶比尔

半导体产业尤其以搬送光罩/晶圆与晶圆盒(Foup)来说，对于手臂本身的洁净度和运动轨迹柔顺不能顿挫都有非常高的要求，因应产能最大化手臂的移动速度客户也希望能够加快增加生产节拍，24小时不停机更为常态。

史陶比尔在半导体耕耘25年，为了使史陶比尔机器人能提供业界最高的精度，速度与无抖动的圆滑运动曲线与超群的耐用稳定性，史陶比尔研发独步全球的专利JCM减速机，使其精度速度与运动曲线能大幅度领先同业。并将减速机密封油浴在液态润滑油中，大幅度的延长保养周期与耐用性。

手臂结构更为业界领先的密封式产品设计(Capsulized)，使其拥有无裸线与无发尘的特性(ISO 14644-1: Class 2)符合半导体要求高精、高速的要求，同时也可搭配ESD防静电版本来确保手臂不会因为空气摩擦而产生静电破坏晶圆。史陶比尔提供了4轴/6轴机器人与协作机器人，采用开放的Real Time PC-Based控制器，支持OPCUA与EtherCAT各种通讯让产线更具弹性。