环保组合式滤网 半导体厂高效管控AMC且降低碳排冲击

滤能技术长游议辉。DIGITIMES摄

许多半导体厂迈向智能化的过程中，开始发现环境中存在肉眼看不到的微污染物，它们悬浮在空气中，对产品造成莫大伤害，但传统HEPA或ULPA等过滤方式却难以有效去除；因而亟思在厂区内布建智能化管控机制，以解决AMC(Airborne Molecular Contamination)问题。

滤能技术长游议辉表示，随着半导体先进制程的发展，透过传统过滤方式，已能有效控制空气中悬浮的粉尘；但相较于粉尘，其他有机或无机的微污染物，对制程良率则有更巨大的影响。换言之高效能AMC微污染控制技术，是目前半导体大厂发展5纳米先进制程的关键要素之一。

AMC主要分为MA酸性物质、MB咸性物质、MC凝结性物质及MD掺加物质，及H2O2、O3等无法归类者，这些气态分子污染物，以尺寸来看仅需要5~25个分子沈积，便可占满5纳米线宽，导致该芯片损坏，这是目前半导体业者面临最大的难题。

为解决此问题，化学滤网业者于传统粉尘滤网外叠加多效化学滤网，亦即传统三合一化学滤网模块模。但它延伸出莫大问题，即业者为确保效能达到高水准，因而采用大量PU胶将滤网封在金属框内，一来PU胶本身就释出污染源，二来碍于金属与滤材被黏死而无法更换，最终只会沦为复合型态的废弃物。

滤能研发的环保组合式滤网，则呈现截然不同风貌。游议辉归纳它拥有诸多优势，首先完全不使用PU胶、让用户因而节省3%~5%成本。其次将框体设计为独特的抽取式或堆叠式，方便用户仅需替换单层滤材，不需要取下整组滤网，相对轻量且安全性佳。第三，模块化外框可重复使用，更换简易，与传统三合一化学滤网形成极大反差。第四，因滤材与外框可重复使用，使购置成本减少40%以上、废弃物减量60%以上，连带降低废弃物堆积与后续处理费用。第五，环保型滤网让备品仅剩滤材，外框可多次使用到耗损才需补充。

「滤能以3R--Reduce、Reuse、Recycle为核心理念，期望达到零废弃物目标，」游议辉补充说明，世界正面临气候变迁、全球暖化、频繁出现极端气候等严峻的环境议题，所以人类不应以「再利用经济」(仍会产生废弃物)为满足，需要更进一步达到「循环经济」，务求100%利用原料资源、不再生成任何废弃物，这正是滤能想要带给产业的全新思维。

除致力发展模块化滤网外，滤能也积极推广另一产品「氟素化学冷却液泄漏检测及解决方案」，协助晶圆代工厂更有效找出污染物来源。系因晶圆厂须在许多机台上采用Chiller，但它使用过程中的泄漏造成新兴AMC污染来源，透过滤能的解决方案，即能以人工探针的采取方式，于1分钟内完成泄漏点测试，从来源阻断AMC产生。