爱德华绿色制造方程序 用环境减排技术实现净零

如果检视2021年产业关键字，净零绝对是其中之一。比尔盖兹在《如何避免气候灾难》中提到，达到零碳是当今时代最艰钜的任务，未来10年没有比净零排放、应对气候变迁更重要的事。

11月在英国格拉斯哥刚举行的第26届联合国气候变迁大会(COP26)，强调必须实现《巴黎气候协定》，守住升温临界值摄氏1.5度，敦促各政府提出减碳期程与积极作法，如逐步减少化石燃料等。

全球半导体领导企业更纷纷在2021年提出净零与气候温升的相关目标，如爱德华先进科技(简:爱德华)便积极设立SBTi目标，并透过环境减排的技术协助客户有效减少碳排。

爱德华作为高科技绿色制造技术的驱动者，以最小化半导体对现在与未来时代以及地球的环境冲击为愿景；设立了科学基础减碳目标(Science-Based Targets initiative；SBTi)，爱德华自身所有的生产制造营运以及运输的温室气体量要在2030年达到减排46%的阶段性目标，并以实现控制温室气体的排放总量不高于升温摄氏1.5度为终极目标；此目标也与2050净零排放同步。

爱德华在协助客户减少温室气体排放的目标上，其废气减排(abatement)技术不断追求创新，以2020年为例，减排解决方案帮助全球客户减少了1,770万吨的二氧化碳碳排，等于少了1.5个台北市一年的碳排(台北市同年碳排放量为1,138万吨)。

其中，爱德华Atlas ULF(ultra low fuel)版本的减排设备，面对关键的蚀刻制程，更有效降低高达80%的燃烧腔体的瓦斯用量，因此减少了80%的碳排，而燃烧量低，对使用冰水机冷却的需求也自然减少，便更进一步减少碳排。

此外，爱德华更提供大气量(600slm)的减排方案帮助客户提升一倍的废气处理效率(原为300slm)，且大气量的机台体积与原本一样，等于占地面积(footprint)直接减半，客户仅需50%的装机成本与面积，便能做好原本的工作，兼顾效能、成本与减碳。

另一个关键，是氮氧化物(NOx)的减量。这是爱德华领先业界的另一个优势技术，以超过20年的研发，透过有效控制腔体内燃烧的温度，保持在最小化氮氧化物(NOx)产出的条件下，直接从源头解决了客户处理氮氧化物等温室气体的压力。

减排、净零、永续，对爱德华来说，不只是关键字，更是核心价值与具体行为；与客户同行，在实现净零排放的路上，仍有很多未解的问题与待开发的解方，但爱德华看到更多的是，这个目标带来的无限创新与推动产业前进的机会。