三星将自主开发EUV光罩护膜
- 杜振宇／综合外电
三星电子(Samsung Electronics)已掌握透光率82%的极紫外光(EUV)制程用光罩护膜(pellicle)技术，目标为2021年底提升至88%。EUV光罩护膜有ASML、三井化学(Mitsui Chemicals)、S&S Tech、FST等业者跨足...
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