SCIL Nanoimprint Solutions 纳米等级图案化压印微影制程设备商

SCIL Nanoimprint Solutions是一家以纳米级尺寸压印（Stamp Transfer）在晶圆上图案化（Patterning）制程设备商，瞄准在在晶圆上做出光学结构做为未来在矽光子模块或智能眼镜芯片的应用，SCIL Nanoimprint Solutions（原为飞利浦旗Philips IP&S旗下业务部门）自2015年起活跃于市场，利用其专利压印技术，开发用于在晶圆上制造特殊光学结构的制程设备和流程。例如，该公司可在晶圆上制造光导结构，实现芯片与光纤的直接连接，从而推动高速光通讯结构的制造。

继2016年完成首台AutoSCIL工具的内部安装和测试后，该公司于2017年正式开始量产并向客户交付设2023年，在创投基金和其他投资者的支持下，该公司正式从Philips IP&S分拆出来，成为一家独立营运的公司。

该公司专注于光通讯半导体领域的应用，包括用于数据中心的高速光通讯芯片、先进封装矽光子系统以及用于智能眼镜和增实境设备的传感器芯片市场。其产品组合涵盖先进的压印设备、定制化光学材料和最佳化制程。由于这些都是人工智能相关应用下一阶段的关键领域，该公司正吸引业界的广泛关注。

这些纳米结构和精密结构利用诸如在晶圆上压印玻璃材料等制程，形成精确图案，用作光纤通讯系统的导光结构。再者，部分结构被制成透镜模块，将光学元件压印在晶圆上。现有设备能够制造出尺寸小至10纳米、表面粗糙度低于1纳米级的精密光学结构。

该公司的制程设备机台依照不同晶圆的尺寸做产品化区隔，可支持4英寸、6英寸、8英寸和12英寸晶圆。该制程包括涂布抗蚀剂与抛光、套刻对准、纳米压印和低温加热固化，以完成二维或三维图案化制程。针对智能眼镜和共同封装光学元件（CPO）这两个备受瞩目的关键应用领域，对于台湾半导体产业聚焦在光电子芯片、高速通讯与先进异质封装技术等议题，对SCIL Nanoimprint Solutions而言台湾是积极开发的重要市场。