Mecal High-Tech Systems 微影设备及晶圆厂防震技术解决方案

Mecal High-Tech Systems是一家瞄准半导体设备高精密度的机台、光学量测机台的防震、屏蔽（Shielding）技术的高端工程系统公司，Mecal透过与客户共同开发，一举掌控精密高端设备内外的关键条件，发展与拥有自己的知识产权和OEM产品为其提供产品与服务的基础。举重要的「极紫外光（EUV）微影技术」为例，由于EUV机台使用高度精确的光学微影技术，精准度到达纳米等级的技术，必须透过完整的防震系统的设计才能满足EUV正常运作，达到高生产良率的需求，所以只要购买EUV机台的半导体客户，都成为Mecal High-Tech Systems重要的目标客户。

该公司所提供的服务包括问题分析、顾问谘询、工程设计、技术研发与安装部署解决方案。并整合尖端技开发工程解决方案并为客户创造最佳化的经济价值，例如提高生产良率以创造重要营收的价值，还进一步实现下一代技术的复杂生产。

目前随着EUV等高端半导体晶圆厂设施与所在地的外在环境影响，通常对于震动极为敏感EUV机台都需要有应对的解决方案，目前该公司在EUV机台提供设计一个防震动的平台与技术，从设计与安装的每一个环节都需要Mecal High-Tech Systems工程团队的专家做好详细规划，该公司目前拥有超过170位被客户认证为五星级高级专业工程师，并在包括荷兰、美国、韩国、日本等地成立服务据点。

基本上该公司的策略就是携手客户解决工程难题，并透过接近客户以就近掌握问题的核心，以台湾的晶圆厂大客户为例，Mecal High-Tech Systems会跟着客户的脚步前进到EUV技术部署的全球据点，解决当地生产环境的问题，让客户的全球化布局可以移转技术到不同区域生产，创造合作互惠的商机。

这次参展的目的，Mecal High-Tech Systems主要着眼于扩张在台湾市场的能见度，该公司认为台湾半导体产业的制造厂商可以因为Mecal High-Tech Systems的技术而改善生产良率，解决制程机台在震动上所造成的问题，随着半导体芯片愈来愈大也愈精密，防震动的技术挑战也水涨船高，他们以35年所累积的产业经验与技术能力，希望在高精密度生产、光电系统与先进封装系统上扮演解决问题的人，以及找寻适当的合作夥伴与客户，为半导体等高科技产业开创新价值。