Fastmicro物体表面粒子瑕疵检测系统与无尘室洁净侦测设备商

Fastmicro是一家成立超过15年专注于物体表面粒子瑕疵检测系统设备商，包含样本表面粒子瑕疵扫描、粒子沉积量测仪，以及用在诸如化合物半导体晶圆、玻璃晶圆、光罩、EUV/DUV光罩护膜（Pellicle）的粒子瑕疵检测系统等主要产品线。该公司的技术最小检测粒子颗粒可达100纳米尺寸。提供半自动／全自动操作模式，检测速度高达400 WPH（wafer per hour），并能提供符合ISO标准或PDF格式的检测数据报告。

该公司成立之初是与荷兰应用科学研究组织（TNO）合作开发与研究物体表面粒子检测技术，包含分析软件、在线缺陷检测系统、可携式扫描仪及整合模块。由于半导体前端制程厂房与无尘室中的洁净等级对先进半导体制程的稳定度与良率非常重要，检测微小粒子对半导体前端制程厂房与无尘室的营运需求有重大的影响，因为微小粒子的成分非常多元，所以Fastmicro的检测仪可以扮演一个积极的角色。

由于该公司的设备具备检测速度快的优势，通常只要十秒钟就可以完成表面粒子瑕疵检测，获得客户的青睐与肯定。该摊位展示的设备约是一台家用微波炉的大小，操作时需要使用一个检测棒或采样工具针对物件表面擦拭取样，然后放进检测仪内读取粒子数量，Fastmicro遵循NIST标准使用PSL（Polystyrene latex聚苯乙烯乳胶材质）材料来做校正与衡量微小粒子的技术。并提供机台OEM模块化设计的生意模式，提供给精密半导体设备机客户的灵活整合的能力，提供能够涵盖大范围扫描与多种检测的需求。

该公司从2022年开始扩展国际业务的版图，这次参加Semicon Taiwan 2025除了主要的晶圆厂客户接触之外，现在还进军到半导体机台设备制造供应链，因为半导体设备机台组装时，要先确认零组件也合乎产品洁净等级的条件后，才能逐步进入组装，每一个制造环节需要确认粒子瑕疵检测合乎标准的要求，所以粒子瑕疵检测系统与设备有强大的商机，这是目前是该公司主要在台湾扩展的市场机会。