SUSS选用史陶比尔无尘室机器人进行晶圆搬运

SUSS选用史陶比尔无尘室机器人应用于高价值晶圆搬运。史陶比尔

SUSS MicroTecLithography GmbH提供全系列光阻涂布机及显影机产品。该公司同时非常重视晶圆的搬运传输，设备整体搬运效果快速、精准、可靠，百万分之几的破片率几乎可忽略不计，赢得全球客户的青睐。

SUSS MicroTec这款 ACS300 Gen2涂布及显影系统。主要应用领域包括先进涂布制程、晶圆级封装应用和3D整合技术。设备内洁净度要求达ISO Class 2其中所有晶圆搬运传输工作均由史陶比尔TX60L CR完成。

与半导体业内较为普遍的平面三连杆机械手臂(只有三个平面自由度)相比，史陶比尔六轴机器人在Chamber 具备宽广的工作半径与更高的负重。其灵活度也让设备内部的机构与工作安排更具弹性与方便。

晶圆在此后段制程，已完成近90%的生产步骤。一片极其昂贵的晶圆如果破碎，便会导致严重的损失。机器人动作必须非常精准。透过史陶比尔的自有专利JCM驱动技术 TX60L手臂，轻松实现含外部夹治具±50微米绝对取放精度的目标。在取放和运输晶圆时，柔顺的运动轨迹无丝毫的顿挫，不会造成晶圆滑落的破片问题，提供出色的可靠性。

晶圆加工的生产时间固定，对于制程而言是项限制因素；在多片晶圆同时加工的同时，机器人本身的取放周期影响整体的产能表现甚巨。 受益于史陶比尔机器人业界最快的移动速度，且即使在较大加速度下，史陶比尔机器人仍能保持精准运行确保晶圆安全，更进一步提高设备整体的生产效率。

SUSS选择史陶比尔六轴机器人整合到创新的ACS300 Gen2系列设备绝非偶然，经评比现有机器人寻求工作范围、速度、精度和可靠性的最佳组合的严格筛选， 唯有最好的机器人才能脱颖而出。