ASML:高数值孔径EUV原型机2023上半年完成
- 梁燕蕙/综合报导
英特尔(Intel)CEOPat Gelsinger多次宣称要在2024~2025年间胜出台积电、重回半导体先进制程领先地位,更宣称将抢先导入ASML新时代之高数值孔径(high-NA)极紫外光(EUV)扫描机,根据ASML高层透露,原型机预计在2023上半年...
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