DIGITIMES - 议题精选：中国曝光机供应链大解密

中国曝光机供应链大解密

美国出口管制持续升级下，中国微影设备加速突围。近两年来中国曝光机、光学、光源及关键零组件等不断浮现新进展，牵动地缘政治与中国自有体系设备技术突破、供应链布局与AI芯片量产。

中国DUV微影设备跨出关键一步　仍难撼动HBM版图？

2026/7/31

中国传开始量产自研浸润式深紫外光（DUV）微影设备，引发全球半导体市场震荡。韩国三星电子（Samsung Electronics）、SK海力士（SK

华为练秋湖、张江临港双引擎　上海曝光机重镇版图扩张

2026/7/31

中国曝光机近期因自主浸润式DUV设备传出量产，再度成为全球半导体产业焦点。从上海微电子（SMEE）、宇量昇、芯上微装，到近期浮上台面的上海爱晟纳电子科技集团，再加上华为练秋湖研发中心、张江科学城、临港新片区及自贸区等资源串联，上海这个中国一线大城正逐渐形成中国曝...

上海爱晟纳串起曝光机版图　人民币70亿资本背后暗藏何玄机？

2026/7/30

中国自主曝光机再传突破，市场焦点除了落在浸润式DUV曝光机进入小量生产，更引发外界瞩目的是，一家成立不到3年的新企业上海爱晟纳电子科技集团（Shanghai Aishengna Electronic Technology Group Co., Ltd.

上海爱晟纳DUV量产有操盘手？　传「国务院级」专家亲参主导

2026/7/30

中国曝光设备自主化近期传出新进展。上海爱晟纳电子科技集团研发的28纳米浸润式深紫外光（DUV）曝光机，已完成首批5台设备交付，显示中国自主曝光设备发展正逐步从技术研发，迈向晶圆厂量产验证阶段。不过，曝

ASML短期难被中国DUV撼动　美国Match法案才是真死穴

2026/7/30

尽管西方对于中国芯片制造设备可能取得突破的疑虑增加，但产业分析指出，中国国产半导体制造设备并非全球半导体制造设备龙头ASML面临的最大威胁。据南华早报及Wccftech报导，近日The

深度：从DUV到Kimi K3　2026年是中国科技成果收获年？

2026/7/29

如果只看2026年夏天的新闻，容易产生一种印象，短短数周内接连有科技产业的重要消息。中国自主DUV曝光设备迈矢量产；中国科学技术奖一等奖颁给曝光机的核心研发机构长春光机所；长征系列可重复使用火箭完成关键回收；宇树科技（Unitree）创始人王兴兴登上《TIME》封...

中国传开始量产DUV　ASML迎中国国产替代长线挑战

2026/7/28

据知情人士透露，一家获中国政府支持、总部位于上海的公司，已首次开始制造浸润式深紫外光（DUV）微影设备，计划2026年生产约5台DUV、2027年目标约20台，并预计2026年交付给中芯国际、华虹半导体及长鑫存

没有EUV的中国　如何在半导体弯道超车？

2026/7/21

在美国持续收紧对中国先进半导体设备出口管制下，外界关注中国能否透过成熟制程、先进封装等方式，缩短与全球先进制程的技术差距。对此，蔡司认为，先进封装确实能提升芯片整体效能，但无法完全取代极紫外光（EUV）微影带来的制程优势。若缺乏EUV，只能依赖更复杂的多重曝光（...

华为麒麟9030拆解揭中芯7纳米近况　能效仍落后国际大厂

2026/7/21

据拆解报告显示，华为新一代旗舰处理器麒麟9030（Kirin 9030）采中芯国际7纳米N+3制程技术，相关量测结果显示中芯在无法取得极紫外光（EUV）微影设备的情况下，透过多重曝光（Multi-patterning）、设计与制

美国MATCH法案断中国DUV供应　全球芯片缺货恐加剧

2026/4/8

受美国国会近期提案影响，ASML的营运前景再度成为市场焦点。美国国会两党议员于上周提出《硬件技术控制多边协调法案》（Multilateral Alignment of Technology Controls on Hardware Act；MATCH），意

美国两党拟祭MATCH法案封杀中国销售维修服务　ASML与中芯等中系业者首当其冲

2026/4/7

美国芯片禁令拟再度升级。近期美国两党议员共同提出《硬件技术控制多边协调法案》（Multilateral Alignment of Technology Controls on Hardware Act；MATCH），旨在加强对中国半导体设备出口限制。此法

消音的新凯来？　SEMICON China中国本土设备厂频出招

2026/3/26

SEMICON China

华虹传突破7纳米先进制程　旗下华力微2026年底前首批试产

2026/3/16

据知情人士透露，中国华虹集团已开发出可用于生产AI芯片的先进芯片制造技术，标志着中国在提升技术自给自足努力中的重大里程碑。知情人士称，该集团旗下晶圆代工业务华力微电子正对其上海厂的7纳米制程做准备

中国本土曝光机分工体系再分流　芯上微装承接上海微电子资产

2026/1/13

中国本土曝光机产业链近期再现一桩受瞩目企业与资产重整。中国曝光机主要研发业者上海微电子装备（集团）股份有限公司，完成旗下上海威耀实业有限公司的股权转移，全面退出持股，改由同属曝光机设备体系的上海芯

上海微电子夺下曝光机标案　ASML优势仍难撼动

2025/12/26

近期一则中国政府采购网公示揭露上海微电子设备（SMEE）中标一台步进式扫描曝光机，成交金额约人民币1.09亿元，招标方则是中国科技部，引发市场对中国曝光设备自主化进程的高度关注。显示中国正在成熟与特色制

芯上微装发布新产品　望加速中国降低对ASML依赖

2025/10/21

中国半导体产业近年在官方和业界的积极推动下，正寻求降低对外依赖和提升自给能力。近期，上海微电子旗下子公司上海芯上微装科技股份有限公司（简称芯上微装）发表了包括半导体曝光机、雷射退火系统、先进检测工具和封装及晶圆键合解决方案等各类制程技术及产品，被视为有望助中国半导体业...