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TSV 3D IC技术与市场起飞仍需克服诸多挑战

DIGITIMES研究团队

TSV 3D IC技术虽早于2002年由IBM所提出,然而,在前后段IC制造技术水准皆尚未成熟情况下,TSV 3D IC技术发展速度可说是相当缓慢,直至2007年东芝(Toshiba)将镜头与CMOS Image Sensor以TSV 3D IC技术加以堆叠推出体积更小的镜头模塊后,才正式揭开TSV 3D IC实用化...

目录
  • TSV 3D IC技术蓝图规划
  • 高度整合芯片技术发展方向
  • TSV 3D IC主要技术
  • TSV Via First 制作流程与优缺点
  • TSV Via Last 制作流程与优缺点
  • TSV Via Middle 制作流程与优缺点
  • TSV 3D IC Via Middle 与 Via Last 阵营主要厂商
  • 跨入TSV 3D IC所面临制作技术挑战
  • 来自芯片封装交互作用的进阶挑战
  • TSV 3D IC技术发展方向:缩短TSV孔距
  • TSV 3D IC技术与市场要起飞 仍将面临诸多挑战
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