SK Materials成功量产超高纯度HF 3年内提升国产比率至70%
- 杜振宇／综合外电
SK Materials成功量产半导体制程洗净用超高纯度氟化氢(HF)气体，将改变韩国全数自海外进口现状，目标为2023年提高国产化比重至70%。SK Materials也着手开发韩国对外依存度达90%的氟化氩光阻剂(ArF PR)，预定2022年起量产。
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