EUV被视为晶圆制造救世主 然技术瓶颈仍难克服
- 刘杰中/综合报导
根据Semiconductor Engineering报导,EUV微影技术被视为晶圆制造产业的「救世主」,多家业者均希望靠该技术有效突破线宽瓶颈。不过专家表示,EUV技术发展进度不一,且目前仍有无法克服的限制,包括镜片的可替换性,以及成像品质的疑虑,虽不致于...
会员登入
会员服务申请/试用
申请专线:
+886-02-87125398。
(周一至周五工作日9:00~18:00)
+886-02-87125398。
(周一至周五工作日9:00~18:00)
关键字