中芯CEO赵海军:专注「大生产」技术 EUV不容或缺
- 徐静初/综合报导
日前中芯国际CEO赵海军指出,极紫外线(EUV)将在7纳米形成主流,28纳米制程如果演进到7纳米,性能可以成长68%;EUV最大的优点是可以20多天出厂,而用其他制程要80多天,做大生产技术必须要用到EUV。
在2017年,EU...
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