EUV微影技术时代逐步来临 高品质光罩检测需求同步看增
- 何致中/台北
随着半导体晶圆制造7/5/3纳米先进制程推进如火如荼,市场估计约2020年可望就有导入极紫外光(EUV)微影技术之半导体应用产品问世,台积电、三星电子(Samsung Electronics)、英特尔(Intel)等龙头大厂将在2018~2019年陆续进入EUV微影...
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