海德汉ETEL高精密运动平台TELICA首度亮相

海德汉于SEMICON Taiwan 2019展示集团一系列的高精度产品，包含开放式光学尺与模块式角度编码器、NUMERIK JENA与RSF的开放式光学尺。SEMICON Taiwan现场展示第一次在亚洲亮相的ETEL高精密运动平台TELICA，一睹TELICA最先进的半导体设备核心的运动控制平台，为您呈现高产能与高生产效率完美并存的解决方案。

新一代开放式光学尺LIDA400系列，包含新一代光学信号处理单元(HSP)的光学尺；除相对较大的容许误差便于现场组装的施作，当光学尺在实际运作遇到因污染而信号衰弱或异常时，新的ASIC芯片，可发挥其功能，透过光源的控制，使得光学尺读头仍能提供稳定的信号输出。

RSF的绝对式角度编码器MCR15

不带内置轴承的绝对式角度编码器MCR 15在电子控制驱动领域及测量领域用于位置和角度控制。独特光学设计与安装容许误差较大的特色，降低了对污染的敏感度。读头信号输出，让使用者能感受到机台运动状态的稳定性。

NUMERIK JENA的LIKgo 新增量式直线光学尺

LIKgo是NUMERIK JENA推出的全新、特别设计的开放式直线光学尺，其外型轻薄短小，适用于半导体检测与生产设备、量测仪器与量测显微镜等。

ETEL的TELICA精密运动平台

TELICA是ETEL新一代先进封装设备的高速双龙门平台，XYZ 共8轴的运动平台。应用于Die bonding黏晶制程(Flip-chip, Fan-out, 3D stacked package and µ-LED bonding)。此运动控制平台可同时满足高产能与高精度，具备X轴加速度可达4G，Y轴6G，Z轴7.5G，±1µm放置精度(global placement accuracy)与覆晶封装应用，生产率达10kUPH，提供更高效能。

ETEL推出Vulcano XY精密运动平台结合ZT3H旋转倾斜和Z轴模块适合用于晶圆的前制程段。机械轴承的设计在XY水平与垂直方向提供极高刚性，允许高加减速度(可达2.5g)，最高速度(可达1.5m/s)，双向重复精度(X轴与Y轴 ±350nm)，具备纳米等级的定位稳定性。Vulcano内建高速高精度控制器AccurET VHP与主动式制振平台QuiET，大幅增强高速高精度运动性能，适合应用于纳米等级的量测机台。