泛铨科技全面展开技术研发　强化材料分析竞争力

泛铨科技董事长柳纪纶(左)与副总经理周学良(右)都指出，泛铨科技的材料分析技术，向来居于产业领先地位。DIGITIMES摄

近年来全球半导体产业战况激烈，台湾与韩国在先进制程持续交锋，制程技术将从5纳米走进3纳米，半导体先进制程考验的不仅是厂商、产业的技术实力，更是国家之间的角力，面对此一趋势，泛铨科技董事长柳纪纶表示，台湾在半导体领域的专业分工精细，各环节的技术实力位居全球产业领先地位，对于这场竞赛，他十分有信心。

泛铨科技是台湾乃至于全球半导体产业中，少数聚焦于材料分析(MA)的专业厂商，多年来积极培育专业人才，深化技术实力，在MA领域中已臻产业领先地位，对于半导体厂将进入3纳米制程，也已备妥相关技术。

泛铨科技副总经理周学良指出，5纳米与3纳米半导体的材料分析挑战在于样品的制备，半导体制程所用到的EUV光阻、Low-K等关键材料，由于受限于材料天性，在使用电子显微镜观察其微结构与成分时，容易因电子束的照射，导致试片变形、倒塌，造成制程研发人员的误判。

周学良表示，在半导体材料分析中，保持样品原貌，避免因人为因素造成缺陷在每一代制程微缩研发过程中的必要工作，只是在5纳米乃至于3纳米制程中，样品的体积更薄，因此也更容易变形。为解决此一问题，泛铨科技早在数年前就开发出ALD真空镀膜技术，以真空镀膜在样品外层形成保护，就像为其穿上一层盔甲，避免因电子束的照射而产生变形。

ALD真空镀膜技术是由泛铨科技独力研发，目前也是市场唯一能完全保护样品不变形的技术。柳纪纶指出，由于半导体制程走在业界尖端，多数设备厂商的技术难以跟上，因此许多设备都必须自行研发，在材料分析领域也遇到一样的状况。

当初泛铨科技提出真空镀膜构想时，市面上的厂商仍无足够技术满足要求，因此泛铨科技只能自己来，透过之前培养的专业人才与技术累积，ALD真空镀膜设备成功问世，柳纪纶透露之后有厂商前来洽询，希望与泛铨科技合作生产，不过柳纪纶还是决定保留技术。现在ALD真空镀膜已被泛铨广泛使用于MA、FA等多项分析，近年来需求增加，泛铨科技也持续提供此服务以满足客户的需求。

半导体是知识密集产业，对专业的需求极高，要提供完善服务，除了具备尖端设备，专业人才更是关键，尤其是半导体产能快速放大，人才的数量也必须同等增加。泛铨科技从成立以来，不但积极培养人才，还透过人性化管理与完善制度留住人才，借此建立起充足且具高度专业的人才库。

完整人才库在近年来日益激烈的半导体产业起了关键因素，柳纪纶以制程研发为例，半导体的材料分析必须走在制程研发之前，才能在客户进行研发之际，提供对应的技术支持，然而既然技术尚未开始，要如何比客户先走一步？这就是人才库的最大价值。

柳纪纶指出，客户的技术研发之前，学术界都早有各种研究，泛铨科技的专业人才不但必须熟知半导体产业，还必须将触角延伸到学术界，了解目前有关的学术理论作法与进度，再从中找出客户最有可能选择的技术，先行投入研发，在客户决定采用时，泛铨科技已然备妥相关解决方案。

当然技术选择不可能百发百中，客户选择之外者，泛铨科技将之视为技术能量的累积，未来延伸出其他价值的机会仍然相当大，透过此一累积，泛铨科技的竞争力也越来越厚实。

对于未来发展，泛铨科技从今年开始积极踏出脚步，除了之前已有的新竹材料分析本部与南科分公司外，南京与同样位于新竹的两处据点也都开始营运，其中位于公道五路二段的新营运点也将提供FA与SA两大服务。南京子公司营运方式会持续现在中央厨房管控的精神，让各外站的品质及服务皆与总部一致，并会继续开拓更多海外分析的业务及客群。

至于服务项目方面，由于客户端的需求浮现，泛铨科技2019年也将开始表面分析SIMS服务，并强化故障分析的能量，购入先进封装分析设备，提供客户完整的分析服务，以因应日益激烈的市场竞争。泛铨科技将于半导体展展出(摊位号码：I2228)，欢迎到场互动交流。