「十年磨一剑」家登看好EUV光罩传送盒需求大爆发

半导体制程迈入后摩尔定律时代，推进突破纳米光刻限制是晶圆制造与先进设备与耗材供应商共同面临的一大难题。如何跨越光刻限制，提升良率进而降低成本，愈来愈多晶圆厂需要跨越技术与成本两大难题，随着EUV时代到来，EUV制程关键零元件供应链全面动起来，家登在EUV新一代极紫外光(EUV)光罩传送盒研发可谓「十年磨一剑」，终于在2018年底利剑「出鞘」开始批量供应一线晶圆厂采用。展望2019年，更受惠于EUV光罩传送盒跳跃式出货，营收可望大幅增长。

随着本地晶圆厂持续扩大12寸产能，加上厂房工业4.0标准与生产自动化，配合加速推进14/16纳米制程技术，作为晶圆制造设备供应商与传载解决方案供应商，家登董事长邱铭乾亲率团队参展SEMICON China2019，并接受DIGITIMES 专访。

他认为，尽管中美贸易不确定因素影响，但对于7纳米以下晶圆制造与EUV光罩传送系统的需求仍强劲，家登凭藉着早期与晶圆厂协同开发深具研发优势，对于本地晶圆厂跨入先进存储与晶圆代工领域制造更能提供先发的优势。

EUV晶圆载具订单能见度高 看好7纳米以下芯片制造需求

家登新一代极紫外光(EUV)光罩传送盒G/GP Type日前已正式获半导体设备商ASML认证，加速进入EUV微影技术先进制程，将在2019全年扮演营运推升作用。

据了解，拥有EUV光刻机的晶圆厂已经陆续完成家登EUV光罩传送盒的厂内测试，动作快的晶圆厂甚至已经下小批量订单给家登，以致让家登2018年底营运「小爆发」，经过逾9年酝酿投入研发EUV晶圆与光罩载具后，家登此一秘密武器「利剑」终于出鞘。

邱铭乾表示，事实上，家登投入EUV传载载具研发已超过9年，初期EUV专案与450mm晶圆专案是处于同期开发阶段，如今EUV传载载具「十年磨一剑」终有所成，尽管2018年前3季家登营运仍处于亏损，但是受惠于晶圆大厂下单，使去年底营运彻底翻转，全年可能有盈余，且预估这订单力道应该会持续下去。

据供应链消息指出，由于各家高端手机仍持续推出新机，又需要高速运算的AI及绘图芯片需求强劲，大客户对于7纳米以下的先进制程的需求，都将推升EUV晶圆代工的产能需求，连带也拉动EUV产线最精密的核心零组件供应商产能。

本地晶圆厂崛起 看好存储器庞大内需

台湾地区晶圆制造设备与耗材供应商逐渐打入大陆本地供应链，借由在地化服务与性价比优势，加上自主研发，愈来愈获晶圆厂青睐。尤其本地晶圆厂持续扩大12寸产能，加上厂房工业4.0标准与生产自动化，配合加速推进14/16纳米制程技术，像家登这样专注透入精密制程研发的供应商更颇受青睐。

邱铭乾表示，近期晶圆厂生产SOP严谨度更为外界所重视，尤其在防污染、防缺陷等制程要求上更趋严格，而家登的主要优势一是集最精英的研发团队服务客户，其次灵活性与创新性上比起同业能更高效快速符应客户需求，这也是家登之所以能在客户严苛的成本条件要求下能达到所谓「服务创新」供应商大奖的肯定。

放眼目前国内大陆主要晶圆厂，包括中芯国际处于14纳米关键风险量产阶段，华力微也将从28纳米转进14纳米，青岛芯恩半导体也预计二期锁定14纳米以下制程制造；在存储器领域，长江存储推进武汉、成都与南京基地，合肥睿力以19纳米为主，10+纳米将会是今年大陆晶圆厂主攻的制程，家登也已全力备妥提供客制化的解决方案。同时，也看好本地晶圆大厂对于EUV传载需求的已开始初期萌发。

不过，邱铭乾也提到，受到中美贸易战风云诡谲，将对整体半导体产业埋下不确定因素，同时，很可能也让本地晶圆厂无法再像过去享受过多的「补贴红利」，这是可能负面影响之一；然而，他分析道，不能轻忽本地晶圆厂在国家政策下提高大陆本土芯片比例与自主研发的决心，因应国内大陆大数据中心与服务器的设置，半导体在内需市场绝对有庞大的需求。

EUV 7纳米传载研发有成 布局利基产品开拓新蓝海

回顾每年家登平均投入营收10%以上费用投资于研发，在7纳米以下的EUV传载载具的研发超过9年，邱铭乾也透露，下一阶段家登已经锁定几个利基型商品开发，除了为原本已开发完成的产品找到新应用之外，更进一步透过创新手法与客户「Co-Creation」， 积极创造产品新价值「Value-Added」，以带领家登迈向蓝海新市场。

从早期研究就与晶圆厂客户紧密合作，家登一直秉持敢于投资研发「专注本业」的初心，邱铭乾说，如果不是一步一脚印踏踏实实敢于投资研发，也不会有今日EUV传载盒能实现「从零到有」、「从0到1」的过程，而这正是当前许多本地晶圆厂面临的核心议题，盖厂或许可以靠砸大钱投资，但要营运起一座晶圆厂要靠团队紧密配合，需要有号召力领袖人物带领一批凝聚力强的团队，肯于啃技术“硬骨头”累积硬底子，与管理的执行力及品质严格控管，必须改变浮躁风气沉下心来，因为一座成功运营的晶圆厂绝对非单靠砸钱与挖角人才就能成功。

半导体总和了资本战、技术战、人才战，结合了以上这些优势还要够「专注」，因为「专注」才能「专业」，邱铭乾观察对于国内大陆晶圆厂来说结合一流的人才除了「够聪明」也要「够专注」才能做出世界一流的晶圆制造。