联华林德与宇川精密材料共同开发新半导体材料

联华气体工业股份有限公司(联华林德)宣布将与半导体先驱物质首屈一指的供应商宇川精密材料股份有限公司(宇川精密)合作，预计在未来两年投资总计新台币9,000万元在台南厂区共同开发三甲矽烷基胺(Trisilylamine；TSA)生产设备及产线，预计每年生产产能可达3.6吨，计划于2020年第3季投产。

新型的TSA生产设备将采用最尖端的制程，并搭配先进的安全及分析基础设施。考量供应链的应变计划，生产厂区策略性的选在对TSA需求与日俱增的亚洲市场。

TSA主要用于在先进逻辑技术节点及3D NAND位元线主要氧化物填充，它使用FCVD机台来将矽电介质沉积到浅沟槽隔离技术(STI)中。由于3D NAND在存储层中的堆叠层成长，从而增加了存储孔的高度，因此TSA的使用正在成长。

联华林德和宇川精密科技结合双方在化学、制程技术及先进分析上加起来超过30年的经验，携手开发TSA并预计在2020年第3季量产。联华林德将独家代理此产品的销售，并将其纳入Spectra EM品牌系列，率先以亚洲市场出发，陆续为全球半导体产业的客户提供服务。

在双方正式宣布合作后，联华林德总经理唐静洲先生表示：「我非常荣幸宣布这项新投资，这是本公司对在地生产特殊气体承诺的持续实现。伴随联华林德 Spectra EM 产品组合，这项投资更能稳定供应我们在台湾、国内大陆及亚洲的电子业客户的需求。」

关于联华林德

联华林德是联华实业股份公司和林德集团共同成立的合资公司，也是台湾最大的工业气体制造商。透过与林德集团的密切合作，联华林德能够提供各种高品质的气体和气体应用技术。此外，为了因应市场的快速成长，联华林德持续投入钜资于高效气体生产设备。

关于宇川精密材料

PentaPro精密材料位于台南科学园区，是三五族半导体，太阳能，射频，光通讯，显示器和其他半导体产业的专业有机金属提供商。PentaPro精密材料致力于开发应用于新兴半导体ALD和CVD设备的各种高纯度前驱体，并且以整合本地材料产业以及智能化学家的资源为目标，以满足7纳米以下的多样化需求。