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亚泰半导体揭化学研磨液供应系统崭新一页

  • 台北讯

2019 SEMICON CHINA亚泰半导体携手苏州元芯泰展开集成综效。

2019 SEMICON CHINA作为国际半导体展会年度最大盛事,于3月20日在上海揭幕。本届大会开幕主题演讲接棒1月SEMICON KOREA关注之资料搜集、算法及运算能力的应用与愿景。除此之外,以5G的实现及AI核心技术发展为目标,驱动中国大陆地区的智能新发展,也是本届重要主轴。

为尽快实现集成电路的需求和成长,围绕著许多实现先进半导体制程及应用的方法,包括纳米制程、智能制造、绿色厂务科技等,纵贯制程到厂务的全面主题皆有举办专业技术论坛。

随著半导体晶圆制程持续进化,SEMICON大会的技术论坛主题,不单着重制程技术精进,更是琢磨厂务的重要性,将两者环环相扣为求更卓越发展。以平坦化制程为例,该制程所使用的研磨液(Slurry)组成内容将随著纳米制程发展而更多元,并加入微/纳米等级研磨粉体,藉此强化平坦制程与纳米制程结合的同步性。

因此,厂务系统中负责搅拌及输送化学研磨液的管线架构及功能机台,扮演著串联先进制程研磨液与机械平坦化制程(Chemical-Mechanical Polishing;CMP)之间的重要桥梁,显示化学研磨液混料传输系统(Slurry Dispensing and Delivery System;SDS)精准提供功能的重要性。

亚泰半导体设备呼应此价值,提出皆以零死角、最适化流道及密封方式设计,完全符合研磨液特性使用的独家方案;从化液输送管路设计、分流阀箱/化液分流盘(Valve Manifold Box;VMB)、多流向阀件(Plug Valve)、液体脉波吸收组件(Damper)及化液多向抽取接头 (Dip Tube) 等完整囊括系统必须及加值之功能。为符合新一代厂务管理的愿景,提出更多智能控管方法,达到兼顾质量监控、符合Minimal Fab愿景之小型化系统及安全运转管理方案。

二十余年来,亚泰半导体发展全面集成的方案提供(Turnkey) ,实绩跨许多国家,为服务半导体发展卓越的客户。为了贴近大陆地区的服务,深耕大中华地区十余年,并于2018年底成立元芯泰半导体科技苏州有限公司,携手高科技厂房系统工程专家的江苏元和建设工程公司,落实跨领域厂务工程与设施设备的完整服务。藉此创造更多加成综效,以提供更符合半导体先进制程的供应系统。更完整的服务架构及技术进展,尽在上海国际半导体展中呈现,亚泰半导体设备展出于N1展馆台湾专区1239摊位。