爱德万发表光罩应用测试产能倍增E3650 MVM-SEM

2018年11月29号，日本东京–半导体测试设备供应商，爱德万测试股份有限公司(东京证券交易所股票代码: 6857)，发表了最新的MASK MVM-SEM(多重视角扫描式电子显微镜)，型号E3650。同样使用爱德万特有的电子束扫描科技，这台最新的仪器可测量光罩上最精细的图案尺寸，同时兼具更高的精准度与稳定度。

E3650是该公司E3600系列的新生力军，过去E3600系列也广受光罩半导体市场的欢迎。这次的新作则拥有比现有型号E3640多一倍的测试产能。E3650产能较高的特性，能应付较复杂图案所需要的大量量测，以及因为多重曝光而增加的光罩数量。 此外，在先进光罩上，此次的新型号在量测EUV光罩、以及纳米压印应用的主模板上也拥有绝佳表现。

E3650将会于2018年12月12号至14号，在日本东京国际展览中心所举行的国际半导体展出。