海德汉ETEL最佳前瞻性量测解决方案

海德汉于SEMICON TAIWAN 2020展示集团一系列的高精度产品，包含ETEL精密运动平台、HEIDENHAIN、NUMERIK JENA与RSF的开放式光学尺。现场将呈现高产能与高生产效率完美并存的解决方案。

2020年的半导体展会中也将展出超高精度LIP开放式光学尺，精密定位晶圆检测设备。LIP开放式光学尺的极佳安装尺寸及较低干扰准位之特色，非常适用于半导体制造、量测与高精度极微小型的生产加工。在必须高速控制同时又具备准确位置稳定性条件的机台设备中，海德汉的光学尺LIP系列即为机台中不可或缺的一部分。

RSF的增量式光学尺MS15

RSF的增量式光学尺MS15独特光学设计与安装容许误差较大的特色，降低了对污染的敏感度。此一系列采用独特的扫描原理，允许高速度达10m/s。同时内建左右极限及原点信号输出，让使用者能感受到机台运动状态的稳定性。

NUMERIK JENA 的 LIKgo 新增量式直线光学尺

LIKgo是NUMERIK JENA推出的全新、特别设计的开放式直线光学尺，其外型轻薄短小，适用于半导体检测与生产设备、量测仪器与量测显微镜等。

ETEL的TELICA精密运动平台

TELICA是ETEL新一代先进封装设备的高速双龙门平台，XYZ共8轴的运动平台。应用于Die bonding黏晶制程 (Flip-chip, Fan-out, 3D stacked package and µ-LED bonding)。此运动控制平台可同时满足高产能与高精度，具备X轴加速度可达4G，Y轴6G，Z轴7.5G，±1 µm 放置精度 (global placement accuracy)与覆晶封装应用，生产率达10kUPH，提供更高效能。

ETEL推出Vulcano XY精密运动平台结合ZT3H旋转倾斜和Z轴模块适合用于晶圆的前制程段。机械轴承的设计在XY水平与垂直方向提供极高刚性，允许高加减速度(可达2.5g)，最高速度(可达1.5m/s)，双向重复精度(X轴与Y轴 ±250nm)，具备纳米等级的定位稳定性。Vulcano内建高速高精度控制器AccurET VHP与主动式制振平台QuiET，大幅增强高速高精度运动性能，适合应用于纳米等级的量测机台。

ETEL专注于直驱运动控制技术，为满足客户精密运动控制的需求，致力于线性马达、 DD马达、运动控制以及高端运动平台等多样的产品开发，产品线完整多样并持续创新精进，欢迎莅临海德汉摊位K2668指导参观。