海德汉ETEL最佳前瞻性量测解决方案
- 陈其璐/台北
海德汉于SEMICON TAIWAN 2020展示集团一系列的高精度产品,包含ETEL精密运动平台、HEIDENHAIN、NUMERIK JENA与RSF的开放式光学尺。现场将呈现高产能与高生产效率完美并存的解决方案。
2020年的半导体展会中也将展出超高精度LIP开放式光学尺,精密定位晶圆检测设备。LIP开放式光学尺的极佳安装尺寸及较低干扰准位之特色,非常适用于半导体制造、量测与高精度极微小型的生产加工。在必须高速控制同时又具备准确位置稳定性条件的机台设备中,海德汉的光学尺LIP系列即为机台中不可或缺的一部分。
RSF的增量式光学尺MS15
RSF的增量式光学尺MS15独特光学设计与安装容许误差较大的特色,降低了对污染的敏感度。此一系列采用独特的扫描原理,允许高速度达10m/s。同时内建左右极限及原点信号输出,让使用者能感受到机台运动状态的稳定性。
NUMERIK JENA 的 LIKgo 新增量式直线光学尺
LIKgo是NUMERIK JENA推出的全新、特别设计的开放式直线光学尺,其外型轻薄短小,适用于半导体检测与生产设备、量测仪器与量测显微镜等。
ETEL的TELICA精密运动平台
TELICA是ETEL新一代先进封装设备的高速双龙门平台,XYZ共8轴的运动平台。应用于Die bonding黏晶制程 (Flip-chip, Fan-out, 3D stacked package and µ-LED bonding)。此运动控制平台可同时满足高产能与高精度,具备X轴加速度可达4G,Y轴6G,Z轴7.5G,±1 µm 放置精度 (global placement accuracy)与覆晶封装应用,生产率达10kUPH,提供更高效能。
ETEL推出Vulcano XY精密运动平台结合ZT3H旋转倾斜和Z轴模块适合用于晶圆的前制程段。机械轴承的设计在XY水平与垂直方向提供极高刚性,允许高加减速度(可达2.5g),最高速度(可达1.5m/s),双向重复精度(X轴与Y轴 ±250nm),具备纳米等级的定位稳定性。Vulcano内建高速高精度控制器AccurET VHP与主动式制振平台QuiET,大幅增强高速高精度运动性能,适合应用于纳米等级的量测机台。
ETEL专注于直驱运动控制技术,为满足客户精密运动控制的需求,致力于线性马达、 DD马达、运动控制以及高端运动平台等多样的产品开发,产品线完整多样并持续创新精进,欢迎莅临海德汉摊位K2668指导参观。
- 先进IC封装技术往TSV 3D IC为必然发展方向
- SEMICON Taiwan 23日登场 聚焦5G、AI时代商机
- 全球主要二线晶圆代工厂锁定特殊工艺突围
- 十铨全新推出为创作者完美打造的T-CREATE
- 贺利氏推出首创可替代金线AgCoat Prime镀金银线
- 5G时代的半导体技术发展
- 永光化学强化在地供应链合作 深耕光阻、PSPI产品开发
- BTU TrueFlat技术 有效解决薄基板芯片倾斜问题
- 爱德万测试以先进量测技术提升安全舒适生活
- 设备本土化的关键 – 超精密运动平台与控制系统
- 海德汉ETEL最佳前瞻性量测解决方案
- 志圣工业推出新产品 首度于2020年半导体展亮相
- 2020年全球晶圆代工产业市场趋势
- 扬发实业提供半导体先进制程一次多道清洗设备
- 保证无微尘的独特igus无尘实验室
- 智能AI医疗应用与升级
- LITHOSCALE无光罩曝光系统实现量产化目标
- 汉高电子材料粘合剂技术提供完整半导体解决方案
- 镭射谷科技以先进雷射技术赢得封装大厂肯定
- 伊顿因应企业再生能源条款上路展出储能两用方案
- 科林研发支持新一代逻辑和存储器元件制造
- 艾德康科技宽能隙化合物半导体材料展现优势
- Wi-Fi 6和BLE 5.2 IP就绪 Imagination加速创新应用
- 志尚仪器推出第四代「无放射性射源」IMS 分析仪
- 宜特科技超前部署后5G非地面通讯技术
- 西门子携手帆宣与亚达 整合人工智能 增实境技术
- 颖崴积极建构全方位设计能力 整合扩展商机
- 钰祥延伸专业价值设置口罩产线解半导体客户燃眉之急
- 泛铨科技强化FA布局 提供半导体最先进分析服务
- 提供多样完整之解决方案 TEL持续突破半导体先进制程技术
- 琳得科晶圆胶带、机台不断进化 满足客户需求
- SEMICON Taiwan登场 台积电等分享半导体展望
- SEMICON Taiwan 2020聚焦高功率化合物半导体 勾勒未来广大SiP概念
- 异质整合趋势明确 台载板厂技术布局动作踏实
- 先进封装投资脚步不停 设备厂积极强攻
- SEMICON Taiwan 23日登场 首推虚实观展平台
- 先进制程投资拉动 国内2020年半导体设备支出居冠
- 台积电、应材都在做 半导体业者再生能源采购率增
- EV GROUP在奥地利总部完成最先进无尘室设施兴建
- 台湾防疫得宜 国际半导体展如期登场
- 加速存储器自主化 长江存储启动新一轮设备招标