金属中心研发矽晶异质接面太阳电池关键制程设备

图为财团法人金属工业研究发展中心自主开发之「连续式超高频电浆镀膜设备In-Line VHF PECVD for HIT Solar Cell」。

国家政策宣示将于2025年完成非核家园愿景，行政院也宣布加速再生能源发电量，目标2025年再生能源发电量占总发电量比例达20%，其中太阳光电2025年设置目标量为20GW。

为如期达到上述太阳光电设置目标量，发展高效能矽晶异质接面(HIT)太阳电池及相关生产设备有其必要性。财团法人金属工业研究发展中心观察到HIT太阳电池未来的成长需求，自主开发品质稳定且低成本之连续式整线镀膜设备与技术，包含超高频40.68MHz PECVD及RPD设备。

目前台湾生产太阳电池之设备多向国外购买，若国内自主开发较低成本的关键制程设备，采取高CP值之产品差异化策略，降低生产成本，可望协助产业突破经营困境，并加速太阳电池建置的普及。

财团法人金属工业研究发展中心将于10月19日下午于「2017 PV Taiwan制程技术论坛」(台北南港展览馆1馆504bc会议室)分享模块式In-line VHF PECVD制程设备、RPD设备与相关制程技术之开发成果。

金属中心开发高效能HIT太阳电池的关键制程设备，其为一超高频(40.68MHz)连续式电浆镀膜设备，全机7成以上自主设计，并完成百分之百自主评估与系统整合。本研发型设备首创搭载晶圆翻转腔设计，具全程真空制程环境设计，可降低环境水气与污染物直接和制程腔体接触的风险，增加制程稳定度与生产速度。本研发型设备其HIT太阳电池年产能预计为525KW，未来设备可扩充成单次生产64片晶圆，年产能将可达10MW。

财团法人金属工业研究发展中心于「2017 PV Taiwan」展示本中心研发量能，诚挚邀请您莅临本中心展览摊位(摊位编号：I0931)参观指教。