智能载具结合环保包材 中勤助客户实现绿色智能工厂
- 王贞懿/台北
半导体制程技术要持续推进,除了有赖设备与材料供应链的技术创新外,在厂内直接与晶圆、光罩接触,做为各站点间、出货之移动或暂存保护用的载具,也扮演相当关键的角色,国内业者除了大家熟知的家登,以EUV POD光罩传送盒,抢搭先进制程列车外,专攻客制化晶圆、光罩、...
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