台积电、英特尔想拯救摩尔定律 EUV开创新纳米时代
- 萧菁菁／综合报导
随着摩尔定律(Moore's Law)逐渐踩刹车，将更多晶体管堆叠在单一芯片困难度提高，芯片制造厂试图寻找解决方案，其中极紫外光微影(EUV lithorgraphy)技术日益受到重视。
EUV技术能进一步缩小晶体管尺寸或提高密度，制造更便宜...
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