MTS高分辨率自制X射线源

MARS TOHKEN SOLUTION (MTS)具有高分辨率自制X射线源的检测设备制造商，利用公司原有的高分辨率X-Ray线源，透过X-Ray和CT实现了传感器装置和复合材料的精密分析。同时能够利用丰富的经验与技术为产业界的生产线，提供定制化的自动X-Ray检测系统。

MTS的晶圆凸块X-Ray自动检测系统TUX-8000系列产品，可实现全自动在线X-Ray检测系统，具有最高放大倍率和更亮的原始X-Ray线源。

适用于8英寸和12英寸晶圆的微凸块检测，可以检查系统的凸块空隙与直径、凸块的空隙百分比以及在um级精度下的凸块之间的短路。

此外，MTS独特的X-Ray系统可以在低X线放射损伤下进行检查，对存储器和影像传感器的半导体芯片的影响也较小。通过研发，汽车零组件和电池的生产现场以及半导体品质控制的无损检测为社会做出贡献。