KLA-Tencor瞄准EUV市场 进军空白光罩检测
- 连于慧／台北
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半导体设备大厂KLA-Tencor趁着这次SEMICON Taiwan 2017期间，正式宣布进军空白光罩检测市场，推出全新的FlashScan产品线，可针对光学或极紫外(EUV)微影的空白光罩做缺陷侦测。
KLA-Tencor是半导...
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