泛铨积极布局TEM 强化半导体先进制程分析能量

泛铨科技执行副总暨技术长陈荣钦。

随着半导体制程精进，一些原本被视为矽材料物理极限的关卡，不管是几年前的22纳米、或后来的7纳米，都因新材料、新结构的出现而告突破；持续不断的创新研发，不仅支撑半导体暨相关设备产业的发展，亦使材料分析产业雨露均沾，譬如擅长提供穿透式电子显微镜(TEM)、聚焦离子束显微镜(FIB)等材料结构分析服务的泛铨科技(MSS)，即受益良多。

泛铨科技执行副总暨技术长陈荣钦认为，展望今明两年，一方面伴随5纳米、3纳米等等先进制程的推展，其间应运而生的新材料或新结构，皆需进行功能性验证，二方面大陆的半导体新厂为数甚多，尽管普遍落在28、16或14等纳米制程，但同样需要借重TEM分析；由此观之，无论新技术或原有需求的扩充，都将驱使TEM材料分析需求攀高。

陈荣钦形容，TEM有点像人的眼睛，但人眼解析极限仅为毫米等级，电子显微镜(以下简称「电镜」)却可达到纳米等级，彼此差距为百万倍；而电镜又可分为TEM透射电镜，及SEM扫描电镜，惟随着16、10、7、5、3等纳米制程一路推进，唯独TEM犹能展现出色的图像分辨率。

所谓TEM，是利用高能电子束穿透超薄样品，撷取直射电子或弹性散射电子成像，抑或作成绕射图案，以解析超薄样品的微结构组织及晶体结构。

要想做好TEM，主要维系在「观察」与「制备」等两大关键，这些固然都需要仰靠设备辅助，但任何材料分析业者只要愿意投资，其实都不难引入先进仪器，你有的，他可能也有，故单凭设备不足以建立绝对的竞争力，必须借重技术人才、展现优异的研发能力，才能让相同设备得以发挥不同效益。

掌握独特诀窍  避免TEM样品受伤害

「泛铨在TEM的布局关键，就是人才培育」陈荣钦说，TEM系以电子束来穿透样品，而样品的厚薄度，将决定TEM影像品质，因此欲展现好的「观察」能力，就必须先练好「制备」基本功。

从制备到观察，泛铨从不轻忽每一环节，也不吝投注资源培养人才，例如对于负责样品前置处理的助理人员，平均给薪达到新台币70万元水准，等于业界具硕士学位的工程师薪酬，有助于确保样品表面清洁、镀保护层等等基础工作，都必定做得扎实到位，由此不难看出泛铨对于样品处理的人力与技能养成，确实十分重视；影响所及，如今泛铨对样品的减薄能力，已纵深到业界平均水准(100nm)的1/10到1/5厚度，足以透析样品当中任何单一结构。

论及泛铨赖以塑造差异化优势之关键，除了人才培育、样品处理能力，尚包括几个面向。首先泛铨一向秉持「中央空厨」做法，不论制备、产出分析报告的地点，都集中在新竹总公司，与同业惯于贴近重要客户、设置分支据点之做法，有莫大差异。

陈荣钦解释，将分析服务能量予以分散部署，好处是增加能见度，让客户容易看到你，但连带徒增管理难度，可能碍于备多力分，使某些据点未必拥有足够的专业人才；泛铨评估，台湾的半导体制造与设计业者，大致座落在新竹、台南与台北等地，纵使客户位于较远的南科，泛铨亦能在3小时内取得样品，而且拜能力与资源全数集中所赐，也更有优势条件，足以妥善回应客户需求，产出好的分析报告。

另不可讳言，TEM藉由高速电压解析影像，难免对样品有所影响，某些材料譬如光阻材料、低介电材料(low-k)等等，都可能产生变形，使客户端制程参数的调整出现误差；有监于此，泛铨组织了专门的研发团队，设法将此影响限缩在可控范围，至今已展现成效，尤其对于抑制光阻的变形，已达到领先业界的水准。

持平而论，客户检视材料分析服务业者的主要症结，不外乎在于品质、交期、价格，谁愈能让三块趋于最佳平衡，就愈有机会赢得客户芳心，其中较不容易凸显差异化优势的环节，莫过于交期；为此泛铨发展特殊的排程方法，可在既定产能下，针对忠诚度较高的客户，给予较好的交期承诺，帮助客户加快Time to Market进程。