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SEMICON Japan亚泰半导体展示领先技术

根据SEMI国际半导体产业协会对于半导体市场趋势的预测,整体而言半导体设备市场将在2020年回温且可望成长超过5%,并看好此波气势长红至2021年再创设备需求之历史新高。于此同时,台湾正居于全球半导体设备市场供应之冠,在供应链中扮演市场供应及技术新动能的先驱。许多国际大厂趁势加速与台厂的合作。本次SEMICON Japan日本国际半导体展览,亚泰半导体受邀前往,在日本百年企业「日产化学」旗下的「日星产业株式会社」的摊位中展出半导体研磨液供应系统领先技术。

日本作为流体阀件的长期耕耘者,许多业者发展各类型液体控制所需的阀件接头;然而,本次亚泰在SEMICON Japan展出的研磨液专用快速接头(AsiaICMP Slurry Dip Tube and Quick Connector)受到不少专业阀体业者及需求者的关注,期待透过合作加乘创造更多价值。

亚泰半导体于SEMICON Japan日星摊位中展出。

亚泰半导体于SEMICON Japan日星摊位中展出。

亚泰依据研磨液为固含液体的特性,独家研发许多专用阀件并取得多国专利,其中快速接头用于将液体乘载桶(tote, drum, tank) 中的液体抽出及循环后输回,而亚泰的设计可同时达到桶槽液体的供应与回流接口(supply and return connecting)置于同一基座,且达到液体回路双边逆止的功效。藉由阀门流道孔位无缝且无死角的设计,使得流道开通与关闭作业切换时,不会产生扰流囤积空间,因而避免液体中的固含物聚集或遭到破坏。此一接头利用紧密结合的阀门以降低残液的风险,并保持研磨液完整特性,并且适用于各种类型的桶槽及运作系统中,因此首次在日本展出便受到许多供应链业者的重视。

面对未来制程不断精进的需求,亚泰将持续发展独特零组件,针对供应系统所发展的阀组件系列(MPTFE/PTFE/PE valve),除了用于亚泰所设计的机组系统,亦可作为各类型系统改善作业使用,强化研磨液供应系统及化学液供应系统精准的循环控制。


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