联华林德推SPECTRA EM迎接电子特殊气体材料成长

联华林德SPECTRA EM产品发表会。

物联网(IoT)技术透过多样化的无线联网技术让各式各样的电子装置可以相互连接，引发一股爆炸式成长的热潮，随着人工智能(AI)技术与更多AI加持的边缘运算(Edge Computing)装置的诞生，进一步推升半导体先进制程的升级，台湾的晶圆代工服务享誉全球，现阶段的半导体先进制程除了在7纳米竞争中拔得头筹率先进入量产之外，2019年正逐步量产7纳米EUV制程，接续的5纳米与6纳米，甚至3纳米的制程都已经在紧锣密鼓的技术布局的进程中，产业持续快速进展。

半导体制程节点与技术的提升，对材料的要求随即水涨船高，材料科技更是这一波半导体制程快速发展的一大推手，当中对工业气体产品的品质与纯度的要求更益发严苛，这一举造就材料供应商与开发先进制程的客户间紧密合作的基础，其中产品开发牵涉到大量量产与高科技工程团队的群聚效应(Critical mass)的展现，在地化的制造与实时技术支持，决定台湾高科技产业升级的重要契机。

联华林德科技公司，是半导体、液晶面板与太阳能光电产业的长期合作夥伴，这个结合联华气体的在地化营运、坚实客户关系与服务能力，加上林德(Linde)在电子特殊气体(ESG)的高品质制造、研发能力，拥有强大加乘优势的联华林德科技公司，提供台湾与邻近国家与地区的高科技客户的密集支持，包含供给高品质的电子气体材料，面面俱到的快速与完整的产品制造与服务，大量赢得客户的信赖与良好的口碑。

SPECTRA EM的上市展现电子气体在台生产的重要里程碑

因应半导体业界的蓬勃发展，快速的技术进程与发展，联华林德于2019年4月18日在台中厂区举行新品牌SPECTRA EM的上市发表会，这个新品牌旗下的新系列产品囊括20种的电子气体材料，拥有定制化、高纯度、高品质气体材料产品线，透过特殊制程包装与高分子量测分析技术，提供完整的电子气体产品组合，并且依据半导体厂商不同制程所需要严苛规格，提供定制化气体材料解决方案，联华林德副总经理周祖庵(Jason Chow)与ESG副总经理Anshul Sarda先生连袂主持这个产品发表会，并接受这次的专访。

周祖庵指出，当半导体等高科技产业蓬勃发展的同时，对于工业气体的需求也会同时增加，唯有稳健的工业气体基础建设，方能在科技高度发展的时代中，为产业界提供最完整且实时的整合服务，联华林德贯彻其核心的在地化(Localization)策略，透过长期的规划与循序渐进的投资，以及发展高效率的大量生产的制程步骤，除了能有效的增加联华林德在工业气体的整体性的基础建设，更能展现联华林德对于品质(Quality)、成本(Cost)、交期(Delivery)、安全(Safety)与永续发展(Sustainability) 概念的长远的追求。

贯彻「放眼全球，立足脚下 (Local Partner, Global Expertise)」的核心策略

此次SPECTRA EM系列产品在台隆重上市，充分展现联华林德对于最高品质产品的在地化生产的承诺，SPECTRA EM就是指电子材料(Electronic Materials)，SPECTRA EM代表着联华林德致力于品质、专业技术和合作夥伴的同步投入， SPECTRA EM的上市吻合「放眼全球，立足脚下 (Local Partner, Global Expertise)」的核心策略。

周祖庵非常自豪地表示，联华气体与联华林德在过去的 30 年里，携手合作提供客户最佳的服务，客户对于SPECTRA品牌已经非常熟悉，过去联华林德已经建立SPECTRA N 氮气产生器，专为半导体和面板产业的客户提供了弹性、高效能的氮气供应方案，还有SPECTRA光学雷射气体(SPECTRA lithography gases)，则是业界领先的氖气与卤素气体混和物，这种稳定、精确的气体混合物，能让客户利用深紫外光(Deep UV)微影技术，提高生产效能与效率，今年联华林德针对高科技产业的蓬勃发展，再接再厉在台湾将电子特殊气体的生产和技术，启动进一步整合，一举推出SPECTRA EM 产品组合。

由于半导体先进制程的快速演进，也让所有的制程环节与材料之间的关系，更趋于复杂，目前相关于电子气体材料所衡量的规格尺度往往高达ppb(parts per billion)的十亿分之一的精密等级，只有当技术团队可以充分掌握材料与制程之间的幽微的相互影响，才能够谈到驾驭下一时代的半导体制程节点技术。

所以这变成一个团体合作的众志成城的努力过程，也促使台湾这个科技岛，成为让人津津乐道，并引以为傲的高科技产业群聚效益的最佳典范，每一个客户都是联华林德重要的资产，客户的不同配方与特殊制程所需要的定制化材料，对联华林德而言，都等同于赋予联华林德一次重要的使命，周祖庵期待联华林德能成为高科技产业的好邻居，满足产业界对电子气体材料的殷切需求。

北、中、南稳健制造基地满足客户对电子气体材料品质的殷切需求

半导体等先进制程需要多种特殊设计与不同配方的电子气体材料，联华林德已经独立开发出20种的电子气体材料，并持续投资台湾在的化的生产基地，周祖庵强调，联华林德在全省包括北、中、南三个制造基地，同步为台湾客户提供高品质产品，值得一提的是目前在台湾第一家商业运转的氟气电子气体等级的工厂已经正式启用，满足高科技产业客户日益严苛的品质要求。

联华林德目前一共有北部观音厂、中部中港厂，以及位于大发工业区的高雄大树厂，一共三个制造基地，以台中港区的中港厂制造基地为例，其往南北各延伸一百公里，几乎涵盖百分之九十的台湾高科技产业客户，为了有效掌握原物料的供应链，并采取接近客户所在地的政策，同时兼顾出口到邻近国家与地区的方便性。

联华林德选择北、中、南的加工出口区做为生产基地，每一 个厂区是依据不同特性的工业气体的种类而区分，并各自准备备援生产设备与机台，举中港厂的笑气(Nitrous Oxide氧化亚氮)为例，就备妥了有八套生产设备，充分满足客户的需求，高雄大发厂则以整合氨水等湿制程为重镇，至于北部桃园市观音厂则是目前最新的厂区，其CO的纯化厂等投资都即具备指标性意义，联华林德依据不同类别的电子气体生产厂区的规划，按部就班投资崭新的生产设备与制程技术。

ERDC电子研发中心加深客户与联华林德之间的合作关系

除了厂区的基础建设之外，联华林德在2016年在中港厂区设立电子研发中心(ERDC)，大幅度投资ESG的分析技术与设备，满足高科技产业与日俱增的高精密度材料的量测与原物料分析能力的需求，进而奠定联华林德在产业界与供应链系统中一个重要的地位。

Anshul Sarda特别介绍目前ERDC执行的三项重要的检测任务，首先是发展气体材料指纹识别(fingerprinting)的技术能力，透过类似于指纹识别的技术，用来掌握电子气体制程中，所使用的材料品质完整参数与性能数据，这可以有效管理上游原物料细部供应商的产品品质，并追踪材料的高分子成分的精密分析，从材料的供应端源头，一直到制程中产生的材料变异，都可以精密的掌握。

第二，进行制程与产品错误时的调查，透过ERDC的高精密度的检测设备，一旦气体配方在品质与成份上有所差误时，可以据此调查在哪一个制程环节发生的错误所致，第三，依据客户需求所进行的定制化气体材料分析与研究，这对于客户而言，可以依据个别客户其独特制程的需要，提出针对不同制程所需要的气体材料的规格与特性，委托ERDC进行精密关键的量测与分析，并提供技术上的审慎建议，以协助双方善用各自的优势，营造出双赢的契机，并进而创造出闻名全球的半导体先进制程的研发。

Anshul Sarda自豪的表示，由于ERDC的精密量测技术与设备让联华林德可以充分在了解特殊高分子材料的特性上有所斩获，进而在地自主开发新型态的特殊气体材料，增现有的产品组合，所以ERDC的设立，加深客户与联华林德之间的合作关系，是一个互惠双赢的关键性的投资，展现联华林德在地服务的强项。

SPECTRA EM是高品质电子材料区分为Standard、Gold与Platinum等三个大类

SPECTRA EM是高品质电子材料的新品牌系列，拥有纯度、包装与分析技术等三种指标。有监于半导体制造商专有制程需要定制化的材料解决方案，SPECTRA EM 品牌一共分成三个不同的产品系列，分别是Standard、Gold与Platinum等三个大类，能满足不同客户与制程上的需求。

首先，Standard等级的气体材料常用于标准型态的制程，举凡液晶面板、太阳能光电与部分的半导体制程，基本上维持高品质SPECTRA EM电子材料的规格产品，一般选择不同等级的电子气体材料的方式，端赖客户的制程中针对气体材料纯度与杂质的敏感的程度而定。

Anshul Sarda强调，今天联华林德的气体材料的发展超过三十年的技术演进，从早先工业气体纯度还在低纯度的时代，旋踵而至，产品线不乏使用超高纯度7N(指99.99999%)，甚至未来朝向9N的规格迈进，对气体材料供应商而言，利用不同的精密机台与化学制程反覆精炼材料的纯度以达成客户规格要求，是我们的看家本领，但是对客户而言，晶圆厂制程对于纯度的攀高要求，虽然非常关心，但是往往有时更在意的是仅存的细微的杂质成分，这些微量的气体杂质反而在客户端制程良率的良莠，扮演重要的角色，所以高分子材料的特性对先进制程的影响，端视客户端制程对材料的敏感性的高低而定。

一旦知道客户制程对关键气体杂质的敏感性，那就需要选用更高层级的Gold等级的产品系列，至于有些客户的制程对于某些特殊杂质非常的敏感，举二氧化碳等分子为例，对于联华林德的制程中要特殊处理才可以达成定制化的要求，因此相对也比较具有挑战性，所以对于定制化依赖性高的特殊电子气体材料，于是进而推出Platinum等级的规格。

这三大不同等级的产品，对于联华林德的品质管制的方式，也有显着的不同，随着产品等级愈高，每一罐装产品的检测次数，就成为重要的产品品质的确保的必要条件，同时也需要在生产在线安装适当的量测设备，因此在产品的制程过程是有相当的差异性，有些气体材料只需要一道纯化的制程，但是也有需要三道制程才可以符合客户所需的规格，所以SPECTRA EM Platinum的定制化管制界线与幅度，则最能符合最严格的品质要求的客户。

由于定制化与纯度等级不同，更多分析技术与仪器设备必不可少，但是专业包装如钢瓶内部的表面处理也是确保气体产品稳定性，也是重要一环，所以以台中厂区为例，各个生产设备与量测仪器设备的配置，除了无法妥协的安全性要求之外，还兼具最重要的产品品质与包装的重要的要求，对于记者会后半段随后在台中厂区所进行的实地参观行程中，令人非常印象深刻，也深受与会贵宾与重要客户的好评。

以SPECTRA 系列电子气体产品为基础，联华林德推出 SPECTRA EM 系列首发产品清单包括四氟甲烷(CF4)、一氧化碳(CO)、氟氮混合气体、溴化氢(HBr)、六氟化硫(SF6)等，还有其他多种材料，一共11项，Anshul Sarda强调包括更多的重要电子气体产品会陆续上市，对于客户的需求都会让联华林德以全力以赴的决心，藉由增进与客户不断技术互动，启动双方在产品与应用上的合作开发，开创新猷，并获致最大的成功。