宜特推出液态材料缺陷检测服务
- 吴冠仪/台北
在半导体晶圆生产-黄光蚀刻、薄膜等多道制程中,或太阳能、LED芯片等电子产品等制造,都有机会因使用到液体、挥发性材料造成缺陷的问题,宜特推出液态材料缺陷检测服务,将有助于相关业者分析液态材质缺陷。
宜特表示,针对一般样品,会使用扫描式电子显微镜SEM(Scanning Electron Microscope)进行样品表面形貌的检测。然而样品必须于真空系统下作业,并且样品局限在固体。而对于液态、挥发性材料,此类样品会影响电子显微镜的真空度,并可能造成腔体污染,因此以往若要使用SEM进行检测,相对困难。
宜特进一步指出,一般而言的变通作法,是将液态、挥发性材料烘烤后,变成固态,再将固态样品利用SEM进行检测,但往往经过烘烤后的样品形貌均已失真,例如液态材料内之粒子(Particle)分布与分散性,这些特性于材料经烘烤后均已改变,便无法观察到液态材料之真实样貌。
借此,宜特特别引进液态材料专用之SEM载台,将可解决此难题。宜特表示,SEM液态载台是封闭式结构,可以将液态、挥发性材料封闭其中,故可避免影响SEM的真空度与真空系统污染等问题。SEM电子显微镜透过载台表面厚度仅数十纳米之氮化矽SiN薄膜,仍可以激发出液态样品表面之二次电子或背向电子,借此可以顺利成像。
此外,若搭配另一工具-EDS(Energy Dispersive Spectroscopy),即可进行成分分析,除此之外,SEM影像可透过专用软件进行分析,即可得到尺寸分布、分散性、形状分布等数据数据,以作为材料研发或制程改善、监控的依据。