Aerotech开创台湾精密制程设备制造业的大未来

Aerotech的台湾区业务经理叶惟仁。

美商艾罗德克有限公司(Aerotech)，是全球运动控制(Motion Control)技术的领先厂商，其所开发的多轴定位控制技术(Multi-Axis Positioning)与晶圆平台(Wafer Stage)等应用，闻名于半导体前段制程与新兴的晶圆级封装(Wafer level Packaging) 等高精密制程设备产业，也是重要的供应商，对于提供符合半导体、显示面板、医疗、军事与光通讯应用，以及雷射精密加工制程设备所需要的严苛技术规格与产能需求，有长久的口碑。

Aerotech长期经营台湾的精密机械产业，主要开发中、高端运动控制系统，产品涵盖机械平台系统、运动控制器、雷射扫描系统，以及压电位移平台，这些运动控制与多轴定位平台子系统可以达到纳米 (nanometer) 等级的定位精度、几何公差与强韧的热稳定性，并且广泛的应用于包括晶圆检查与侦测、CD-SEM、TEM、步进式微影、白光干涉、先进晶圆级封装等制程机台上。

另外，为了满足次纳米等级的高精密度位移系统所需要的定位分辨率和位移稳定性的应用，Aerotech开发设计QNP压电纳米定位(Piezo Nano-Positioning)平台子系统，其提供最高的共振频率和刚性，高分辨率达到0.15纳米，线性度0.007%，以及2纳米的高重复性的产品规格，符合从电子显微镜设备整合到光学校准等最严峻的应用与要求。

Aerotech的台湾区业务经理叶惟仁(William Yeh)先生在这次的专访中，针对台湾在高精密度运动控制系统领域的发展，提供他的产业观察与中肯的建议。

看好台湾市场雷射细微加工产业成长

雷射细微加工设备机台是台湾迈向高精密度与高价值的机台设备产业的重要的一步，Aerotech最先看到台湾的面板高精密度制程上，开始导入雷射应用，因为雷射系统具备有非接触、无污染、高精度和高效率等优点，对于诸如半导体、显示面板与印刷电路板(PCB)等产业所需要的微小化、高密集化的制程设备的发展，已渐渐在精密定位系统的控制应用上取得重大的进展。

举PCB产业开始走向雷射直接成像(LDI)技术为例，为了打造高端智能手机与智能装置所需要的高端HDI(High Density Interconnect) PCB，一改过去的传统曝光机台技术，转向雷射的高端应用解决方案，这个趋势有三个主要的推动力量，第一，高精密度的加工制造市场需求大幅增长，第二，技术面与供应链的高度成长，加快新制程的整合速度，第三，社会对于绿色环保制造的意识与要求抬头。

这些推动力，使得台湾雷射设备机台制造商，开始大举投资高精密度的机械平台与开发，拜Aerotech长期采取顾问式的产品行销的模式之赐，这种深入了解客户的需求，并且透过不同的工程分析的手法，打造以解决客户问题为主的标准化与定制化产品，加强对台湾制程设备业者提供服务的努力，Aerotech让台湾的雷射设备制造商开始合作开发出具备次微米等级的精密度的制程机台，并且藉由台湾设备也者的各种创意，找到最具有制程效益的机台，解决台湾电子制造与代工产业的制程难题，创造市场的成功。

光通讯产业与虚拟实境装置的制程设备  打造高精密机台的成长契机

半导体产业尖端制程，与半导体晶圆的前段制程设备大厂的发展密不可分，进入半导体供应链的门槛非常高，台湾设备制造商只有在国际大厂愿意释单的条件下，才能取得参与的机会，现今除了后段封测设备比较具有优势之外，对台商而言，发展的机会受到了局限。

所以雷射制程设备所提供的机会，对台湾厂商而言，显然能够在市场面产生更大的斩获，虽然如此，但是衡量产业的现状，William提出台湾的设备商的三个重要的建议，第一，加强基础工程科学的技术与素养势不可少，高精密的机台仰赖工程技术的提升，举凡人才或是重要实验室的投资，都扮演着重要的角色。

第二，现代化的管理手法的导入，除了ERP之外，在工业4.0趋势下的先进管理工具的投资，将有助于台湾设备厂商的内部控制的落实；第三，有效整合供应链的资源，绵密的供应链的管理，决定台湾厂商的竞争力，也是成功的必要保证。

有此三者的加强，再加上台湾厂商的创意，仔细分析客户在制程上的重要需求，能够去芜存菁的打造最佳化的机台，就可以有效凸显产品的附加价值，做到差异化的产品区隔。

除了雷射制程机台之外，William指出几个适合台湾设备厂商乘胜出击的重要领域，首先就是以矽光(Silicon Photonics)为主的光通讯装置，这种能传送接收光学信号，以每秒100 Gigabit的速度将大量数据透过光纤缆线传送到数公里之外的接收端等装置，对于云端数据中心即将带来革命性的转变，因为需要高精密度对位装置与制程，对机台设备商开启重要的合作序幕。

另外的一个新兴应用就是虚拟实境(VR)的装置，这也关系到结合光学与制造端的整合，对台湾高精密度制程设备业者或制造服务厂商而言，都代表着新兴的成长动能，Aerotech透过自制的运动控制器、驱动器、各式各样的驱动马达、回馈装置与配件系统之外。

更重要的是提供技术与软件的整合支持服务，以协助台湾设备制造商有效的聚焦于独立制程平台的开发与系统设计，并且已经有效的协助台湾客户在应用Aerotech的产品上产生重要的成功案例，对于新的机会，Aerotech希望秉承共享双赢的合作关系，帮助客户在高精密度运动控制技术所累积经验，完成新制程机台开发的任务。